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文檔簡介
1、本論文采用氮原子束輔助脈沖激光沉積的方法，在Co/Ni過渡層上制備了CNx納米薄膜；在背景氧氣中制備氧化鋅薄膜，并采用退火擴散的方法降低本征氧化鋅中大量的背景n型載流子?！ ”菊撐耐ㄟ^在GaAs襯底上沉積生成氧化鋅薄膜，然后再采用退火擴散的方式將受主原子As摻雜其中，以補償天然制備的氧化鋅中大量的n型載流子。雖然在退火擴散的過程中，將作為施主原子Ga也擴散到已生成的氧化鋅薄膜當(dāng)中，但是我們實驗測得的數(shù)據(jù)表明兩種原子引起的綜合效果仍舊是
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