微納增透光學(xué)器件的設(shè)計(jì)與功能特性研究.pdf

1、lIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIIlY3297053⑧謝己工工誓女孽碩士學(xué)位論文所在學(xué)院壟堂墮培養(yǎng)類別指全日制學(xué)術(shù)型碩士、全日制專業(yè)學(xué)位碩士、非全日制專業(yè)學(xué)位碩士、中職教師在職攻讀碩士學(xué)位、同等學(xué)力申請(qǐng)碩士學(xué)位五類。浙江工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文微納增透光學(xué)器件的設(shè)計(jì)與功能特性研究摘要微納光學(xué)是利用微納結(jié)構(gòu)材料(microstructurematerials)作為實(shí)現(xiàn)光學(xué)功能元件的光學(xué)分支。一直以來，光學(xué)元件的減反射都依賴于多層膜結(jié)

2、構(gòu)，然而多層膜結(jié)構(gòu)的激光損傷閾值較低，嚴(yán)重制約了大功率激光器的應(yīng)用與發(fā)展。而通過在微結(jié)構(gòu)材料上制備特定的微結(jié)構(gòu)，能獲得比多層膜結(jié)構(gòu)透過率更高、激光損傷閾值更高的微納增透光學(xué)器件，從而有效的用于高能激光系統(tǒng)。本文在熔融石英上設(shè)計(jì)和制造二維圓柱形亞波長(zhǎng)光柵(two—dimensionalcylindricalsubwavelengthgratings，SWGs)，用于1064rim波長(zhǎng)激光系統(tǒng)。在1064nm處獲得了990％的透過率，但是在