基于激光干涉技術(shù)的透鏡厚度精密檢測方法研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展,光學(xué)系統(tǒng)在國防、航天、民用等各行各業(yè)應(yīng)用越來越廣泛。透鏡中心厚度作為光學(xué)系統(tǒng)的一個重要參數(shù)，目前在國內(nèi)其檢測還停留在傳統(tǒng)的接觸式測量方法上，接觸式測量因其效率低、精度差、易刮傷待測物件等缺點，無法滿足對透鏡中心厚度測量要求，這嚴(yán)重的制約了我國光學(xué)行業(yè)的發(fā)展。近年來，光纖低相干干涉技術(shù)的快速發(fā)展，為透鏡中心厚度檢測提供了良好的技術(shù)基礎(chǔ)。
　　本文基于光纖低相干干涉技術(shù)的測厚原理，提出了一種非接觸式透鏡中心

2、厚度檢測系統(tǒng)，分析了影響檢測系統(tǒng)檢測精度的主要因素，并分別從光路、電路設(shè)計及信號處理等方面，提出了提高檢測系統(tǒng)檢測精度的方法。論文的具體工作如下：
　　在光路設(shè)計上，考慮到待測透鏡一般具有極低的反射率，而平面反射鏡具有很強的反射率。針對二者因反射光強度相差太大而導(dǎo)致干涉信號不明顯的特點，設(shè)計了具有樣品臂與參考臂入射光比例不同的邁克爾遜型干涉儀，以提高干涉信號的強度。另外，為了降低系統(tǒng)噪聲對干涉信號的影響，設(shè)計了帶通濾波器，以有效地

3、抑制系統(tǒng)噪聲。為了確保該測厚儀能夠快速地進行檢測，提高系統(tǒng)的效率，在待測鏡片的載物臺附近加入了一圖像傳感器(CCD),用于觀測待測透鏡前后表面的反射光是否完全進入樣品臂，以便于進行透鏡位置調(diào)整，以滿足檢測狀態(tài)的干涉條件。
　　在檢測方法和軟件設(shè)計上，為了提高測量效率和檢測精度，提出了一種采用移動反射鏡正、反測量的方式，通過多次測量求平均值的方法減少測量誤差，從而提高測量的重復(fù)性精度。在信號處理方法上，將K-means聚類算法應(yīng)用于