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1、太赫茲電磁波的頻率在0.1~10THz之間。太赫茲電磁波具有相干性等可廣泛應(yīng)用的特殊性質(zhì)。進(jìn)入二十一世紀(jì)之后,太赫茲愈加廣泛的受到人們的關(guān)注,在生物醫(yī)療、公共安全以及通信領(lǐng)域,太赫茲波應(yīng)用更為廣泛。為了評(píng)估太赫茲微測(cè)輻射熱計(jì)探測(cè)器的器件性能,需要一套測(cè)試系統(tǒng)對(duì)探測(cè)器的響應(yīng)、噪聲以及等效噪聲功率等性能參數(shù)進(jìn)行測(cè)試,測(cè)試依據(jù)應(yīng)該緊密聯(lián)系太赫茲探測(cè)器的器件結(jié)構(gòu),對(duì)測(cè)試參數(shù)結(jié)果的分析能夠有效反映太赫茲探測(cè)器的性能。
我們通過(guò)介紹微測(cè)輻
2、射熱計(jì)的探測(cè)原理和器件結(jié)構(gòu),分析和研究太赫茲探測(cè)器的響應(yīng)、噪聲以及等效噪聲功率,發(fā)現(xiàn)其響應(yīng)、噪聲受到太赫茲探測(cè)器材料與器件結(jié)構(gòu)較大的影響。探測(cè)器響應(yīng)受到材料的熱導(dǎo)、熱容以及電阻溫度系數(shù)性能的影響,而這些性能參數(shù)對(duì)應(yīng)著器件微橋、吸收層薄膜以及熱敏材料的特性和結(jié)構(gòu)。噪聲是由Johnson噪聲、1/f噪聲以及聲子噪聲等熱噪聲以及空間噪聲組成,它們與探測(cè)器熱學(xué)波動(dòng)、背景輻射以及探測(cè)器像元制備工藝相關(guān)。等效噪聲功率能夠很好反映太赫茲探測(cè)器信噪比的
3、大小,衡量其實(shí)際應(yīng)用的價(jià)值。測(cè)試參數(shù)的分析對(duì)太赫茲探測(cè)器的制備有很重要的參考意義。
基于太赫茲探測(cè)器器件性能分析與輻射源的工作特點(diǎn),研究了相關(guān)的測(cè)試方法與技術(shù),確定了能夠有效反映太赫茲探測(cè)器工作性能的各參數(shù)的計(jì)算方法。搭建了測(cè)試平臺(tái),完成了測(cè)試平臺(tái)中測(cè)試系統(tǒng)的研制,其中,太赫茲探測(cè)器測(cè)試系統(tǒng)硬件平臺(tái)完成了探測(cè)器驅(qū)動(dòng)電路、電源管理電路、模數(shù)轉(zhuǎn)換電路、溫度控制電路、LVDS接口電路以及基于Camera Link接口的數(shù)據(jù)采集電路。
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