硅片傳輸機械手控制策略的研究.pdf

1、貴州大學2015屆碩士研究生學位論文硅片傳輸機械手控制策略的研究學科專業(yè)：檢測技術與自動化裝置研究方向：嵌入式系統(tǒng)與自動化裝置導師：文方教授研究生：丁浩中國﹒貴州﹒貴陽2015年4月分類號：論文編號：密級：貴州大學2015屆碩士學位論文i目錄摘要.................................................................................................

2、.................................ivAbstract...............................................................................................................................v第一章緒論............................................

3、........................................................................11.1課題研究背景及意義.........................................................................................11.2國內外研究發(fā)展現狀.................................

4、.......................................................11.2.1國外研究發(fā)展現狀..................................................................................11.2.2國內研究發(fā)現現狀.......................................................

5、..........................21.3本文主要研究內容............................................................................................2第二章硅片傳輸機械手運動學建模與永磁交流同步電機模型分析......................32.1引言.................................

6、....................................................................................32.2硅片傳輸機械手構型的選擇...........................................................................32.2Rθ伸縮運動模型的建立..............................

7、....................................................32.2.1運動學方程..............................................................................................52.3交流永磁同步電機及其矢量控制模型...........................................

8、.................52.3.1交流永磁同步電機的數學模型.............................................................52.3.2矢量控制策略..........................................................................................72.4本章小結.............

9、.....................................................................................10第三章硅片傳輸機械手控制策略研究與仿真分析.................................................113.1引言........................................................

10、...........................................................113.1控制對象分析...................................................................................................113.2路徑規(guī)劃..........................................

11、..................................................................123.3軌跡規(guī)劃............................................................................................................143.3.1加速度為正弦函數的軌跡規(guī)劃方法...............