真空電熱和電磁處理裝置巴申定律和 vehempe 的真空弧光放電、真空系統(tǒng)、、抽氣系統(tǒng)操作程序舉例

1、GB/T 10067.1.101—XXXX A A 附 錄 AA （資料性） 巴申定律和 VEHEMPE 的真空弧光放電 根據(jù)巴申定律，氣體絕緣擊穿電壓Ub與氣壓p和電極間隙d的乘積有函數(shù)關(guān)系Ub=f（p·d），如圖A.1中巴申曲線所示。 設(shè)某VEHEMPE主真空室工作電壓所施加的兩導(dǎo)電件間的電氣間隙為d并在工作壓力p下工作，若該工作電壓高于巴申曲線上與該p·d相對(duì)應(yīng)的擊穿電壓，則可能會(huì)引起打弧并能通過室內(nèi)工作負(fù)

2、荷或其他物料的蒸氣而變成持續(xù)的弧光放電。 通常，VEHEMPE不同電位導(dǎo)電件間的電氣間隙都按常規(guī)設(shè)計(jì)，因此在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)合理選擇其工作電壓和工作壓力范圍并釆取其他措施，以確保在其整個(gè)運(yùn)行過程中不發(fā)生任何真空弧光放電。 圖 AA.1 均質(zhì)區(qū)域中不同氣體的擊穿電壓 22 GB/T 10067.1.101—XXXX c) 真空室抽氣口處泵的有效抽速。 它們應(yīng)綜合考慮具體的真空熱處理工藝要求 （見BB.1.2.1.1） 和現(xiàn)有的真空泵技術(shù)參數(shù)來確

3、定， 真空系統(tǒng)各部件的工作參數(shù)、設(shè)計(jì)和選用都基于這三個(gè)參數(shù)。 BB.1.2.3.2 真空室的極限壓力主要決定于主真空泵的極限壓力、 空載時(shí)長(zhǎng)期抽氣后真空室的氣體負(fù)荷(包括漏氣、材料表面放氣等)和真空室抽氣口處泵的有效抽速。它通?？偸歉哂谥髡婵毡玫臉O限壓力，兩者之差取決于上述氣體負(fù)荷與有效抽速之比。在該有效抽速一定時(shí)，它正比于真空室的漏氣和放氣。在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)時(shí)，漏氣量主要由真空室的極限壓力和工作壓力來確定， 一般取低于氣體負(fù)荷 （主要

4、是工藝生產(chǎn)中放出的氣體量）的十分之一。 BB.1.2.3.3 真空室的工作壓力應(yīng)滿足工作負(fù)荷的真空熱工藝對(duì)真空度的要求， 主要由進(jìn)行工藝生產(chǎn)時(shí)真空室中的工作負(fù)荷所產(chǎn)生的氣體負(fù)荷和上述影響真空室極限壓力的那些因素決定。 它高于真空室的極限壓力， 從經(jīng)濟(jì)方面考慮，應(yīng)在主泵的最大抽速或最大排氣量附近選擇工作壓力。一般工作壓力選擇在高于極限壓力半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。VEHEMPI 常用真空泵的工作壓力范圍和最佳工作壓力范圍分別見表BB.1 和表

5、BB.2。 表 BB.1 VEHEMPI 常用真空泵的工作壓力范圍 名稱 名稱 工作壓力， 工作壓力，Pa Pa 105 10 4 103 102 10 1 10-1 10- 2 10-3 10-4 10- 5 10 -6 10-7 10 -8 往復(fù)式真空泵 水環(huán)式真空泵 水環(huán)-大氣真空泵 油封機(jī)械泵 羅茨真空泵 水 蒸 氣 噴 射 泵 單級(jí) 二級(jí) 三級(jí) 四級(jí) 五級(jí) 六級(jí) 油擴(kuò)散噴射泵 油擴(kuò)散泵 一般工作壓力范

6、圍 特別使用 部分使用 表 BB.2 VEHEMPI 常用真空泵的最佳工作范圍 真空泵種類 油封機(jī)械泵 水蒸氣噴射泵 羅茨泵 油擴(kuò)散噴射泵 油擴(kuò)散泵 最佳工作范圍，Pa 10 5～10 10 5～10 2 10 2～1 1～10 -1 5×10 -2～10 -4 BB.1.2.3.4 真空室抽氣口處泵的有效抽速S應(yīng)及時(shí)抽走VEHEMPE工作時(shí)產(chǎn)生的氣體負(fù)荷并維持真空室的工作壓力在規(guī)定的范圍內(nèi)， 它取