單晶鈮酸鋰薄膜的光學常數(shù)以及Y分支波導(dǎo)的研究.pdf

1、鈮酸鋰(lithium niobate，LiNbO3，LN)晶體是一種具有較高的電光系數(shù)、聲光系數(shù)、熱光系數(shù)、非線性光學系數(shù)等優(yōu)點的人工合成的多功能負單軸晶體材料，被比喻成光學中的“硅”材料。單晶鈮酸鋰薄膜(lithium niobate on insulator，LNOI)成為集成光學的研究熱點，LNOI具有單晶程度好、折射率差大、限光能力強的特點，在LNOI上的光波導(dǎo)及光電器件可以擁有更小的尺寸和彎曲半徑，可大幅度提高器件的集成度，

2、降低器件體積、功耗和閾值。
　　單晶鈮酸鋰薄膜在紫外-可見光波段的吸收系數(shù)、折射率等是重要的物理參數(shù)，也是設(shè)計和研究電光調(diào)制器、非線性相位匹配等器件的基礎(chǔ)，但目前LNOI上這些參數(shù)的實驗數(shù)據(jù)不多。采用透射光譜法測量了薄膜的光學常數(shù)（折射率、吸收系數(shù)）以及厚度。透射光譜法具有波長范圍廣、測試簡單、精確度高、無損檢測等特點。透射光譜法的基本原理是根據(jù)紫外可見分光光度計測量出的透射譜，擬合出薄膜透射譜中的包絡(luò)線（干涉極大值與干涉極小值組

3、成的線）。用包絡(luò)線來推測求出薄膜的折射率、吸收系數(shù)以及厚度，最后再用干涉極值公式對計算結(jié)果進行優(yōu)化。
　　實驗測量時，為了避免襯底的影響，選擇石英作為襯底，石英的透光范圍寬，在近紫外到紅外波段對光的吸收很微弱。采用Z切向鈮酸鋰薄膜，因為Z切的樣品在測量透射譜時不受雙折射的影響。
　　光纖通信在當今社會中具有舉足輕重的地位，它是用光纖傳遞信息，它的存在改變了人們獲得、傳遞與共享信息的方式。電光調(diào)制器是光纖通信中重要的器件。長距

4、離通訊中常用的是Mach-Zehnder(M-Z)調(diào)制器，因為它具有低驅(qū)動電壓、高帶寬的特點。
　　鈮酸鋰有著良好的電光效應(yīng)，是制備波導(dǎo)調(diào)制器的首選材料。M-Z電光調(diào)制器的通光光路由兩個對稱的Y分支波導(dǎo)對接而成，其電極采用行波電極結(jié)構(gòu)。
　　我們與一家美國公司、德國Helmut Schmidty大學三方合作，共同研究單晶鈮酸鋰薄膜上鈦擴散M-Z調(diào)制器，目標是制備調(diào)制帶寬達到200 GHz。我們主要負責單晶鈮酸鋰薄膜的厚度設(shè)計

5、與M-Z調(diào)制器里的Y分支波導(dǎo)的設(shè)計與分析。
　　本文研究內(nèi)容主要包括兩部分:1.單晶鈮酸鋰薄膜的折射率、吸收邊的研究。2.LNOI上Mach-Zehnder調(diào)制器中鈦擴散Y分支波導(dǎo)的研究。主要研究結(jié)果如下:
　　1.透射光譜法測量鈮酸鋰薄膜的折射率、吸收系數(shù)
　　以石英為襯底，制備了3英寸的單晶LiNbO3薄膜，用雙光路紫外可見分光光度計測出單晶LiNbO3薄膜的透射譜，采用包絡(luò)法得到了尋常光折射率，并擬合出色散公式，

6、測得LN薄膜的厚度約為520.7 nm，薄膜的紫外吸收邊在314nm附近。用棱鏡耦合儀測量出鈮酸鋰薄膜的厚度為521.5 nm，與透射光譜法測出的膜厚520.7 nm非常一致。測出波長為632.8 nm、1539 nm時，薄膜的尋常光折射率分別為2.279、2.2002，與透射光譜法測得的結(jié)果一致。
　　2.Mach-Zehnder調(diào)制器中結(jié)構(gòu)的設(shè)計與研究
　　設(shè)計了調(diào)制器的結(jié)構(gòu)。軟件研究了LiNbO3薄膜不同厚度下的鈦擴散

7、波導(dǎo)的有效折射率，并與微波有效折射率對比，發(fā)現(xiàn)在鈮酸鋰薄膜厚度為7.8μm時，光波與微波能實現(xiàn)速度匹配。
　　3.LNOI上鈦擴散條形光波導(dǎo)的研究
　　模擬了不同波導(dǎo)寬度的光場，發(fā)現(xiàn)在鈮酸鋰薄膜TE、TM模式的單模條件分別是鈦條寬度小于等于0.6μm、1μm，而鈮酸鋰體材料TE和TM模式的單模條件都是鈦條寬度小于等于6.5μm?？梢姳∧ぶ械拟仈U散波導(dǎo)模式個數(shù)增加了。
　　4.LNOI上鈦擴散Y分支波導(dǎo)的研究
　　

8、設(shè)計了鈮酸鋰薄膜上的鈦擴散Y分支波導(dǎo)，Y分支器總長度為1600μm，短于鈮酸鋰體材料上的Y分支器。發(fā)現(xiàn)當波導(dǎo)彎曲半徑大于1 cm時，其損耗低于1E-3 dB/cm。模擬了Y分支波導(dǎo)的輸出功率與鈦條寬度的關(guān)系，發(fā)現(xiàn)在鈦條寬度小于5μm時，鈮酸鋰薄膜上的Y分支輸出功率比鈮酸鋰體材料上的Y分支輸出功率要高，最大輸出功率能達到90％以上。模擬了光纖與鈮酸鋰薄膜上的Y分支波導(dǎo)輸入端進行端面耦合的情況，對于厚為100nm的鈦條，最大輸出功率高于75