CCD火花直讀光譜儀光機結(jié)構(gòu)設(shè)計.pdf

1、隨著科技和技術(shù)的不斷發(fā)展，冶金和一些金屬相關(guān)領(lǐng)域?qū)怆娭弊x光譜儀提出了更高的要求。近些年發(fā)展起來的CCD火花直讀光譜儀較好地滿足了很多需求，CCD火花直讀光譜儀除了具有傳統(tǒng)直讀光譜儀的優(yōu)點：測量精度和準(zhǔn)確度高、操作簡單以外，還可以進行全譜測量，這是現(xiàn)階段采用光電倍增管（PMT）的直讀光譜儀所不具有的功能。這很大程度源自于CCD火花直讀光譜儀的特殊光學(xué)結(jié)構(gòu)和采用的CCD傳感器。作為CCD直讀光譜儀器來說，其光學(xué)結(jié)構(gòu)大部分采用羅蘭圓光學(xué)結(jié)構(gòu)

2、，也是整個系統(tǒng)設(shè)計的核心部分。
　　本文首先介紹了 CCD火花直讀光譜儀的基本原理和組成結(jié)構(gòu)，著重分析了羅蘭圓光路結(jié)構(gòu)的光學(xué)零部件。之后采用ZEMAX光學(xué)軟件對其光路結(jié)構(gòu)進行了仿真和分析，并選用白口鑄鐵中的Fe、C、P、S四種元素的特征譜線參數(shù)進行了光學(xué)仿真分析，通過分析確定了相關(guān)光學(xué)元器件的基本參數(shù)，并進行了優(yōu)化來獲得理想光路的相關(guān)參數(shù)，根據(jù)公差仿真分析了對應(yīng)譜線的分布。并基于光線仿真效果評價進行了元器件公差以及機械夾具的公差分