ZnO-NiO異質結構薄膜乙醇傳感器設計與性能研究.pdf

1、為了能精確的去檢測乙醇氣體，我們需要用到性能很高的氣敏器件。隨著材料科學的不斷進步，金屬氧化物的發(fā)展也發(fā)生了巨大的變化，它是當前電子科學界具有非常重要的研究價值的敏感材料，其中ZnO由電化學穩(wěn)定、無毒而且價格低廉而成為了金屬半導體氧化物氣體傳感器很有前景的一種敏感材料，但是由于其自身的氣敏特性很低，實驗中我們通常需要對其進行相應的的摻雜或者復合來提高期氣敏特性。本文通過查閱相關大量資料發(fā)現(xiàn)，NiO這種金屬氧化物是一種寬禁帶(4.2eV)

2、P型半導體，與ZnO之間晶格失配低，空穴流動性能高，可以同ZnO形成P-N型異質結。本文正是基于該結構，運用溶膠凝膠法制備出了ZnO/NiO異質結構薄膜，并通過與ZnO-NiO復合結構的測試對比，對其進行了相應的乙醇氣敏特性的研究。結果表明:
　　ZnO/NiO異質結構樣品靈敏度最大可達43.2，ZnO-NiO復合結構靈敏度最大值只有27，雖然復合結構在適應溫度方面較異質結構高一點，但是靈敏度過低。在工作溫度為300℃，測試氣體濃