非對稱電極y分叉型1215;2ti：linbo,3數(shù)字光開關(guān)研究

1、浙江大學碩士學位論文非對稱電極Y分叉型1×2Ti：LiNbO數(shù)字光開關(guān)研究姓名：肖彩俠申請學位級別：碩士專業(yè)：微電子與固體電子學指導(dǎo)教師：李錫華20070501浙江大學碩士論文A b s t r a c tT h e u n p r e c e d e n t e dd e m a n d f u r o p t i c a l n e t w o r k c a p a c i t yh a s f u e l e dt h

2、 e d e v e l o p m e n to f o p t i c a l s w a p 、o p t i c a l s w i s h a n ds w i t c h a r r a y s ．L i t h i u m N i o b a t e ，嬲o n e o f t h e s u b s t r a t e so f m a k i n g o p t i c a ls w i t c h ，h a sb e

3、 e n s t u d i e de x t e n s i v e l yf u ri t s g o o de l a c t r o - o p t i cc o e f f i c i e n t ，c a s eo f p r o c e s s i n ga n d p r o p e rc o s tf o ra b o u ts e v e r a ld e c a d e s ．B e s i d e s ，t h

4、e s w i t c hw h i c h i sm a d e o f i ti sc a p a b l e o f c h a n g i n gi t ss t a t e e x t r e m e l y r a p i d l y , t y p i c a l l yi nl e s st h a nan a n o s e c o n d ．I t sd e v e l o p m e n t o r i e n t

5、i o n i sl o w p o r ts w i t c h a r r a y ．A n o v e ld e s i g no fd i g i t a lo p t i c a ls w i t c hw i t l ll o w e rc r o s s t a l k b ye m p l o y i n g S c u r v ew a v e g n i d ea tt h ee n do f t h eY b r

6、a n c hi sp r o p o s e d a R e rc o m p a r i n gd i f f e r e n tt y p e so fm a t e r i a l ，s t r u c t u r ea n d s w i t c he f f e c t ．Sc u r v e w a v e g u i d e h e r ep l a y st h er o l eo f v a r i a b l eo

7、 p t i c a la t t e n u a t o r ( V O A ) ．W ec o u l d c o n t r o lt h ep r o p a g a t i o nc h a n n e lo ft h e d e v i c eb ye x e r t i n gt h es y n c h r o n o u sv o l t a g et o t h e Y b r a n c ha n dS c u r

8、 v ew a v e g u i d e ，r e s u l t i n gi nl o w e r c r o s s t a l k t h a nt h e d e v i c ew i t h o u t S c u r v e w a v e g u i d e ．I no r d e r t oe x p l o ∞t h ef a c t o r s a f f e c t i n g t h e s w i t c

9、h ，w ee x p e r i m e n t e d t h e p r o c e s sa n ds i m u l a t e dd i f f e r e n ts w i t c h s t r u c t u r e s ，a n do b t a i n e dt h eb e s tt e c h n o l o g yp a r a m e t e ra n ds t r u c t u r e p a r a

10、m e t e rw h i c h a r c 勰f o l l o w s ：w a v e g u i d ew i d t h ：6 ～7 腫，t i t a n i u m f i l mt h i c k n e s s ：6 0 n m ，i n d e x c h a n g e ：O ．0 0 7 ，d i f f u s i o nt e m p e r a t u r e ：1 0 5 0 ℃，d i f f u

11、s i o n t i m e ：9 ～1 0 h ；s w i t c hl e n g t h ：2 7 m m ，t h e b r a n c ha n g l e ：O ．1 8 0 ，s i d ed i s t a n c eo f e l e c t r o d e ：3 ．5 p m ．F D B P Mi s u s e d t o s i m u l a t et h ep e r f o r m a n c eo

12、 ft h ed e s i g n ，a n d i t s h o w s t h a t t h ee x t i n c t i o n r a t i oo f V O A C a ne x c e e d 2 0 d Bw i t ht h es w i t c hv o l t a g eo f a b o u t 1 0 V ．t h ec r o s s t a l ko f t h es w i t c h i s

13、l o w e rt h a n 一3 0 d B ．w h i c hi s l o w e rt h a nt h e s w i t c h w i t h o u tV O A ．、Ⅳe a l s o e x p l o r e dt h ed i f f e r e n tt e c h n o l o g yp r o c e s ss u c h 嬲p h o t o l i t h o g r a p h ．s t r

14、 i pa n dg r i n d i n gt h ef a c e t o f t h es u b s u ' a t c ，o b t a i n e dg o o dt e c h n o l o g yp a r a m e t e r s ．B u t w i t ht h el i m i t a t i o n o f t h e t i m ea n d t h ee x p e r i m e n tc

15、o n d i t i o n ，w e j u s tf i n i s h e dt h ew a v e g u i d ea n di t s t e s t o fl i g h tU L n O U g ht h ew a v e g u i d e , t h ee l e c t r o d ew i l l b e c o a t e di n t h en e x tp r o c e s s ·K e y