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1、精密氬離子減薄儀精密氬離子減薄儀使用說(shuō)明書(shū)使用說(shuō)明書(shū)MODEL691PIPS1Figure11PIPS.前視圖前視圖1、左槍電流2、束能量(keV)前級(jí)氣壓(Tr)3、右槍電流4、左槍氣流控制5、左槍氣閥開(kāi)關(guān)6、右槍氣閥開(kāi)關(guān)7、右槍氣流控制8、室真空顯示9、MDP指示燈10、前級(jí)氣壓指示燈11、DP測(cè)試按鈕12、循環(huán)終止重設(shè)按鈕13、主電源開(kāi)關(guān)14、束狀態(tài)指示燈15、離子束調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)16、角度狀態(tài)指示燈17、氣鎖放氣指示燈18、氣鎖放氣開(kāi)
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