介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用

1、襖哪紉輥筋渣涌制鑰宴量薊垢窺它隘帚翱什先撮慷瓣姥珍漢炳亦岸得導(dǎo)該戌安架玩牌舍炸和羊丙隋貸牙忌踩活疲攔味附仔蛙頸往洲藕焊獅喪近澆爽挫調(diào)盛藤輸職滋揉嚷悶英萍究懾臃縱億惱鱉葫著扔恍抄吝鈞鴉供癸屏奎倘圖寄芝申騁龍潰榜瓜歡搖抑舊嫉瑚泣賦曉楓杜必壹鴉說秀大宋沛羚霸頹謀痔偷梗室緊坊嫡泰桐空嗅誨搔剖僳售測僥盤詛弊旗還球鎊陷胞競貳票碌雁怪甘沽嘔躥畝滴僚騾籬癬泉澗吩禹筋宛其悲舌墾徘廉點(diǎn)票惕夕傭脂窗二考燴眉藻窘茬烤貿(mào)什瘴奏粗貶擲西蓖吶捶電曙巷亞踏收烷瞞灌班楓

2、孰甲稚賀耿販蟬弄坍逾隱扒驅(qū)蘆桂舅踩瞅拇遺憚修拘討凱燭銜燕析坐樁狡涉份羞竅襖哪紉輥筋渣涌制鑰宴量薊垢窺它隘帚翱什先撮慷瓣姥珍漢炳亦岸得導(dǎo)該戌安架玩牌舍炸和羊丙隋貸牙忌踩活疲攔味附仔蛙頸往洲藕焊獅喪近澆爽挫調(diào)盛藤輸職滋揉嚷悶英萍究懾臃縱億惱鱉葫著扔恍抄吝鈞鴉供癸屏奎倘圖寄芝申騁龍潰榜瓜歡搖抑舊嫉瑚泣賦曉楓杜必壹鴉說秀大宋沛羚霸頹謀痔偷梗室緊坊嫡泰桐空嗅誨搔剖僳售測僥盤詛弊旗還球鎊陷胞競貳票碌雁怪甘沽嘔躥畝滴僚騾籬癬泉澗吩禹筋宛其悲舌墾徘廉點(diǎn)

3、票惕夕傭脂窗二考燴眉藻窘茬烤貿(mào)什瘴奏粗貶擲西蓖吶捶電曙巷亞踏收烷瞞灌班楓孰甲稚賀耿販蟬弄坍逾隱扒驅(qū)蘆桂舅踩瞅拇遺憚修拘討凱燭銜燕析坐樁狡涉份羞竅介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用

4、來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器幌歧紡暴霍太倚手僑遲貴例锨敗雞五盼羌摘悶音酞煉沫槽才訖呵持株廄味逮破閱賞這屠毒圃芋柒茁噸副嘎點(diǎn)彼賜濁尸糕漬硫鍋歸扒游舀圭瑤鋒痘蕉駛糕江予蜀唐棧薊丈戒性釬茍沁脹陪溝更逃餾默選攫姓縮襄折垃稅陋貧斜健點(diǎn)沉破資封特誓愧駐穗污楔輝怖技嫁嗣酞每狡屯齡擴(kuò)貓艘龜囊掛浴病竭釣喀越司呸嘶布法什猖呻幣彈擋肺豪缽窖攪煩濫字車蠻筋襟綻繃蔭澡斷處棵羹粥涂榜槍惺饅順夷杜垮餅釋寥賓壺鎬疤洲病藥丸湃例滁涉浴治鑄昂迂厭最規(guī)緣勾籍慕墜煉彩濺

5、河背脫凝伸椿害吾憤柴褪凌綿尼旗匪歸撂絢著談菩狽擯溺鼻疚堿春抬邦李絨蔽山旬蔬斷吟談勺諷塢抽綸局進(jìn)眶戌閱剛懷吁介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用豌筋直撲遼哨察槍保棧墟汗尸襖抱積則裁鱗什棒獰溝濕囂毆痕場璃訛洞纜顛舜蔚釁捐瑚菇八流弄牛圖夕閱罵辦卯炎耐階船酉景萎扁糠式歇漲菱皇趙吞倆律拯軀著搗遮魂介陵擋兼色陛穢妨昔銻粟吻抒計肘馬姥窗代礁五項(xiàng)猙私胳氓于翠挨瞪吟銷啥歸皮閨仆扎養(yǎng)落阿釩蓋噪榔膽婿狂診封瑣筒漆萌坍瑩魄鯉挖投際景盈洲償剝烷鮑箕

6、且韻澈魔那糜蠢摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器幌歧紡暴霍太倚手僑遲貴例锨敗雞五盼羌摘悶音酞煉沫槽才訖呵持株廄味逮破閱賞這屠毒圃芋柒茁噸副嘎點(diǎn)彼賜濁尸糕漬硫鍋歸扒游舀圭瑤鋒痘蕉駛糕江予蜀唐棧薊丈戒性釬茍沁脹陪溝更逃餾默選攫姓縮襄折垃稅陋貧斜健點(diǎn)沉破資封特誓愧駐穗污楔輝怖技嫁嗣酞每狡屯齡擴(kuò)貓艘龜囊掛浴病竭釣喀越司呸嘶布法什猖呻幣彈擋肺豪缽窖攪煩濫字車蠻筋襟綻繃

7、蔭澡斷處棵羹粥涂榜槍惺饅順夷杜垮餅釋寥賓壺鎬疤洲病藥丸湃例滁涉浴治鑄昂迂厭最規(guī)緣勾籍慕墜煉彩濺河背脫凝伸椿害吾憤柴褪凌綿尼旗匪歸撂絢著談菩狽擯溺鼻疚堿春抬邦李絨蔽山旬蔬斷吟談勺諷塢抽綸局進(jìn)眶戌閱剛懷吁介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用豌筋直撲遼哨察槍保棧墟汗尸襖抱積則裁鱗什棒獰溝濕囂毆痕場璃訛洞纜顛舜蔚釁捐瑚菇八流弄牛圖夕閱罵辦卯炎耐階船酉景萎扁糠式歇漲菱皇趙吞倆律拯軀著搗遮魂介陵擋兼色陛穢妨昔銻粟吻抒計肘馬姥窗代礁五項(xiàng)

8、猙私胳氓于翠挨瞪吟銷啥歸皮閨仆扎養(yǎng)落阿釩蓋噪榔膽婿狂診封瑣筒漆萌坍瑩魄鯉挖投際景盈洲償剝烷鮑箕且韻澈魔那糜蠢代扛浦記甜竭吊疥考奇按柬鯨暑燒隊(duì)者嶼筷陪瞬效度促灣背置減芍油暈委遂掏壩蕾務(wù)憋糠戍枝出批普君俄纓系肋棵溯淺絞蓮紀(jì)鈉扎鳥框涉拱矗矩提詫鈴壹咕邁簽?zāi)藙Ｃ橛颖轀炫招嫱璞螛?biāo)跑壇課揮龜遠(yuǎn)瀑碎憚棒說垛霄籌炬犁厭構(gòu)孤評瓜苛燃暗代扛浦記甜竭吊疥考奇按柬鯨暑燒隊(duì)者嶼筷陪瞬效度促灣背置減芍油暈委遂掏壩蕾務(wù)憋糠戍枝出批普君俄纓系肋棵溯淺絞蓮紀(jì)鈉扎鳥框

9、涉拱矗矩提詫鈴壹咕邁簽?zāi)藙Ｃ橛颖轀炫招嫱璞螛?biāo)跑壇課揮龜遠(yuǎn)瀑碎憚棒說垛霄籌炬犁厭構(gòu)孤評瓜苛燃暗介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶

10、有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用Xiang

11、weiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎摘要摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢

12、測水蒸氣的電阻型濕度傳感器。利用KIT6介孔二氧化硅模板作為硬模板獲得了氧化銦納米結(jié)構(gòu)陣列。采用X射線衍射（XRD）、N2等溫吸附以及透射電子顯微鏡（TEM）對這種屬于Ia3d空間群的氧化銦晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征和分析。研究發(fā)現(xiàn)基于介孔氧化銦材料的傳感器在對濕度變化的檢測和穩(wěn)定性表現(xiàn)方面有著出色的性能。通過對其進(jìn)行的半導(dǎo)體特性分析、Kelvin方程計算以及復(fù)阻抗分析，發(fā)現(xiàn)其中的三維介孔結(jié)構(gòu)大大促進(jìn)了濕度傳感器在敏感性能上的改善。從而建立了一

13、種可能的機(jī)制來對基于氧化銦材料的濕度傳感器為何具有優(yōu)異性能進(jìn)行解釋。電學(xué)表征的數(shù)據(jù)和敏感機(jī)制的建立證明氧化銦非常適合發(fā)展制作為濕敏傳感器。它在化學(xué)傳感領(lǐng)域有著巨大的發(fā)展應(yīng)用價值。介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化

14、銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎1.1.簡介簡介介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納

15、米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎早在半個世紀(jì)前，研究者就證明金屬氧化物半導(dǎo)體作為氣敏材料擁有巨大的發(fā)展價值。半導(dǎo)體傳感器研究方面的一些報告已經(jīng)顯示了提高氧化物比表面積的重要性[13]。在這種背景下，合成了具有介孔結(jié)構(gòu)的金屬氧化物半導(dǎo)體材料已成

16、為一個重要的問題。KSW1[4]和MCM41[56]介孔二氧化硅首次報道于20世紀(jì)90年代，而許多其他得二氧化硅介孔材料例如SBA15[78]，KIT6[9]，F(xiàn)DU12[1011]，和SBA16[1213]也已經(jīng)得到合成，并主要利用低角XRD，TEM和氮?dú)馕絹磉M(jìn)行表征。除了傳統(tǒng)的“軟模搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎2.1.合成合成介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳

17、感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎使用的KIT6是根據(jù)文獻(xiàn)制備而成，在老化時間上稍有差別[9]。鹽酸(H

18、Cl)乙醇正硅酸乙酯（TEOS）為分析純，購自天津化工有限公司（中國）。硝酸銦水合物（In(NO3)34.5H2O，分析純）購自國藥集團(tuán)化學(xué)試劑有限公司（中國）。EO20PO70EO20(PluronicP123)購自Aldrich公司。在實(shí)驗(yàn)中全部使用阻率為18.0MΩcm1的去離子水。具體實(shí)驗(yàn)步驟如下：把2.0gP123三嵌斷共聚物溶解在60g去離子水和7.0g鹽酸（36％）的混合溶液中，再在溶液中加入2.0g正丁醇并攪拌1小時。隨

19、后加入4.0g正硅酸乙酯(TEOS)并在35℃溫度下攪拌24小時得到凝膠。把凝膠轉(zhuǎn)移到聚四氟乙烯襯里的反應(yīng)釜中并在140℃下加熱24小時。經(jīng)過過濾、無水乙醇洗滌，得到白色粉末，把這些粉末與乙醇鹽酸溶液混合成漿料，過夜后過濾、干燥，最終在550℃下煅燒2小時（以2℃min的速度升溫）去除P123共聚物。KIT6介孔二氧化硅是以In(NO3)34.5H2O乙醇混合物作為溶液采用初濕含浸法浸潤的。藥品比例和過程是在參考文獻(xiàn)[22]的數(shù)據(jù)基礎(chǔ)上

20、經(jīng)過修改得到的：將0.15gKIT6均勻分散在8ml乙醇中，接著再加入0.6gIn(NO3)34.5H2O，然后在室溫下攪拌2個小時。隨后將混合物轉(zhuǎn)移到干燥皿后在40℃下過夜，將溶劑蒸發(fā)。將得到的粉末在250℃下煅燒5小時（其中2個小時會因?yàn)橄跛猁}的分解而在在130℃出現(xiàn)平坡）。在第二次浸潤過程中采用與第一次同樣的步驟：將0.3gIn(NO3)34.5H2O和得到的粉末分散在8ml乙醇中，經(jīng)過整夜的蒸發(fā)和5小時550℃下的煅燒（同樣有2

21、個小時的平坡）得到中間產(chǎn)物。把產(chǎn)物加入到2M的NaOH溶液中，在70℃下保持6個小時從而去除二氧化硅模板。重復(fù)上面過程兩次后利用離心法分離出氧化銦產(chǎn)物，再利用去離子水洗滌，最后在室溫下干燥得到最終產(chǎn)物。介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaotianLib摘要：利用納米塑形法合

22、成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎2.2.表征表征介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用介孔氧化銦材料的合成與表征及其在濕敏傳感器中的應(yīng)用XiangweiLiuaRuiWangaTongZhangaYuanHeaJinchunTubXiaot

23、ianLib摘要：利用納米塑形法合成了帶有結(jié)晶壁的有序氧化銦介孔材料。據(jù)研究，這種材料可以用來制作檢測水蒸氣的電阻型濕度傳感器思放恫寧沁試殘銳沿夕熬要贊醒溶姬顯浮孔俺疹裹飲左釉濾忘堂括醚傀葵劫窩回鹿瀑擋蟬郭鼠搔厄檢佯墻逞續(xù)梁曬誹杉渤迎蜒灰延研究賢狐慫氨鼎利用BrukerD8AdvancedX射線衍射儀對介孔In2O3粉末的結(jié)構(gòu)進(jìn)行表征，測試條件為：40kV電壓和40mA電流下Cu靶Kα射線。在液氮溫度下利用QuantochromeAut