特種氣體系統(tǒng)工程計(jì)劃設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范

1、#特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范2011040708:31:54|分類：默認(rèn)分類|標(biāo)簽：氣體特種管道氣瓶閥門|字號(hào)訂閱1總則1.0.1為了在電子工廠特種氣體系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)和施工中正確貫徹國家法律、法規(guī)，確保安全可靠，保護(hù)環(huán)境，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求，保護(hù)人身和財(cái)產(chǎn)安全，做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)濟(jì)合理。制定本規(guī)范。1.0.2本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建的電子工廠的特種氣體輸送系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)和施工。1.0.3本規(guī)范不適用特種

2、氣體的制取、提純、灌裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工。1.0.4特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工除應(yīng)符合本規(guī)范的規(guī)定外，應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。2術(shù)語2.0.1特種氣體specialilygas用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。2.0.2特種氣體系統(tǒng)specialitygassystem特種氣體系統(tǒng)是指在用戶現(xiàn)場(chǎng)的特種氣體的

3、儲(chǔ)存、輸送與分配全過程的設(shè)備、管道和部件的總稱。2.0.3特種氣體間specialitygasroom是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。2.0.4硅烷站silanestation是指放置硅烷儲(chǔ)存設(shè)備（氣瓶、氣瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車或ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐）、硅烷氣化裝置及尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過管道向用氣生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建構(gòu)筑物或區(qū)域。2.

4、0.5明火地點(diǎn)openflamesite室內(nèi)外有外露的火焰或赤熱表面的固定地點(diǎn)。2.0.6散發(fā)火花地點(diǎn)sparkingsite散發(fā)火花的煙囪或室外電焊、砂輪、氣焊等固定地點(diǎn)。2.0.7空瓶emptycylinder留有殘余壓力的氣體鋼瓶。2.0.8實(shí)瓶fullcylinder存有氣體的氣瓶中保存有氣體壓力的氣瓶，特種氣體氣瓶一般水容積為40L、47、48L等各種容積。2.0.9氣瓶集裝格thebundleofgascylinders用專

5、用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。氣瓶的個(gè)數(shù)分別為9個(gè)、12個(gè)、16個(gè)不等，單個(gè)氣瓶的水容積通常為40~50L。2.0.10氣瓶柜gascabi(GC)特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.11氣瓶架gasrack(GR)特種氣體

6、使用的開放式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、吹掃裝置、氣體終端過濾器、緊急切斷閥、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全設(shè)施。氣瓶架有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。2.0.12閥門箱valvemanifoldbox(VMB)特種氣體在輸送過程中使用的封閉式管道分配部件，VMB在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管可配置手動(dòng)閥、壓力表、過濾器等組件，除SiH2Cl2、WF6等低蒸汽壓力氣體外，VMB各支管可根據(jù)需要設(shè)置調(diào)壓閥。VMB需設(shè)置泄漏氣體排氣管接

7、口和風(fēng)壓事故報(bào)警。2.0.13閥門盤valvemanifoldpanel(VMP)特種氣體在輸送過程中使用的開放式管道分配部件，VMP在氣體入口配置氣動(dòng)閥、手動(dòng)閥，各支管應(yīng)#2.0.34數(shù)據(jù)采集與監(jiān)視控制系統(tǒng)supervisycontroldataacquisition（SCADA）是以計(jì)算機(jī)為基礎(chǔ)的生產(chǎn)過程控制與調(diào)度自動(dòng)化系統(tǒng)。它可以對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的運(yùn)行設(shè)備進(jìn)行監(jiān)視和控制，以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、設(shè)備控制、測(cè)量、參數(shù)調(diào)節(jié)以及各類信號(hào)報(bào)警等各項(xiàng)功能。2

8、.0.35工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)facilitymanagementcontrolsystem（FMCS）用于管理工廠動(dòng)力設(shè)備的管理控制系統(tǒng)，一般只具有監(jiān)視功能，不具有控制功能。2.0.36大宗硅烷系統(tǒng)bulksilanesystem是指容器水容積超過250L的硅烷系統(tǒng)，包括鋼瓶集裝格、Y鋼瓶、長管拖車(TT)、ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐，以及數(shù)量超過7個(gè)的獨(dú)立小鋼瓶系統(tǒng)。2.0.37氣體面板gaspanel集成切斷閥門、調(diào)壓閥、過濾器、壓力計(jì)等零部

9、件并安裝在氣瓶柜內(nèi)的專用設(shè)施。2.0.38開敞式建筑openarea立柱和墻面遮擋部分小于周長的25%的建筑。2.0.39內(nèi)向檢漏inboardheleaktest又稱噴氦法測(cè)試.采用內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。2.0.40閥座檢漏crossseatheleaktest采用閥門上游充氦氣，下游抽真空，檢測(cè)泄漏率的方法。2.0.41外向檢漏outboardheleaktest又稱吸槍法測(cè)試，采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮

10、混合氣，外部用吸槍檢查漏點(diǎn)泄漏率的方法。2.0.42不相容性incompatible不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。2.0.43ISO標(biāo)準(zhǔn)儲(chǔ)罐ISOmodule按國際標(biāo)準(zhǔn)組織（ISO）要求，允許安裝在架子上的多個(gè)水容積不超過1218L的儲(chǔ)罐或長管氣瓶的總稱。2.0.44大宗特氣輸送系統(tǒng)應(yīng)用：1）集束鋼瓶（容積小于50L鋼瓶數(shù)量超過12個(gè)以上）；2）Y型鋼瓶；3）T型鋼瓶；4）長管拖車；5）ISO槽罐等

11、進(jìn)行特種氣體儲(chǔ)存和送氣作業(yè)的系統(tǒng)。3特種氣體站房3.1一般規(guī)定3.1.1特種氣體站房包括布置在單獨(dú)建構(gòu)筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站和布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間。3.1.2布置在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格向生產(chǎn)線供應(yīng)特種氣體。3.1.3在生產(chǎn)廠房內(nèi)的特種氣體間內(nèi)的最大允許儲(chǔ)存量見表3.1.5，當(dāng)生產(chǎn)廠房內(nèi)的氣體儲(chǔ)量超過規(guī)定數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立的特種氣體站。表3.1.3生產(chǎn)廠房內(nèi)最大允許儲(chǔ)存量序號(hào)氣體種類