QCM氣體傳感器的研究及其在安全檢測中的應用.pdf

1、石英晶體微天平（Quartz Crystal Microbalance，QCM）氣體傳感器以壓電石英晶片對質量的敏感性為基礎，利用修飾在石英晶片表面的敏感膜捕捉待測氣體，在薄膜吸附待測氣體后通過測量石英晶體頻率的變化來實現(xiàn)對待測氣體的檢測。由于具有靈敏度高、結構簡單、可以在常溫下使用等優(yōu)點，QCM氣體傳感器很好的彌補了傳統(tǒng)氣體傳感器的不足，作為一種新型的氣體檢測儀器，近幾年得到了很快的發(fā)展。
　　 本文以作業(yè)場所空氣質量問題為研

2、究的出發(fā)點，以壓電石英晶體作為為傳感器件，在其表面修飾不同的材料作為敏感薄膜，對不同涂膜方法進行了比較，總結了敏感薄膜的制備工藝。以甲苯作為目標檢測氣體，乙醇、正己烷作為干擾氣體，用不同濃度的甲苯、乙醇和正己烷待測氣體分別對不同種類的敏感膜進行測試，利用課題組自主編制的基于LabVIEW平臺的石英晶體微天平氣體傳感器頻率測試程序對測試結果進行記錄。通過對實驗數(shù)據(jù)進行分析，發(fā)現(xiàn)二氧化鈦敏感薄膜對甲苯的響應情況較好，從敏感膜對甲苯的響應-恢