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1、真空泵市場各類泵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀真空泵市場各類泵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀20100713發(fā)布者:飛翔泵業(yè)新聞部真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴大。目前,全球真空泵市場的年銷售額約20億美元,年增長率在7%左右。我國生產(chǎn)真空泵的廠家很多,全部真空泵的年銷售
2、額大約在1.5億元左右,僅相當(dāng)于美國Kinney公司一家真空泵的年銷售額。通過對全球真空泵市場的分析我們可以看出,各類真空泵的市場及應(yīng)用領(lǐng)域都在不斷變化和發(fā)展。我國真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ),國產(chǎn)真空泵已經(jīng)在各個不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過驗證,有些泵還出口國外,得到國外用戶的認可并受到好評,應(yīng)該說我國真空泵制造業(yè)在國內(nèi)外市場仍然有著巨大的發(fā)展空間。1.水環(huán)真空泵雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵,但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、
3、醫(yī)藥等領(lǐng)域仍然有著很大的市場。在國外,水環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,僅次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò),不斷擴大在我國的市場份額。由于水環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產(chǎn)品,所以國產(chǎn)水環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關(guān)鍵是要改進設(shè)計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。2.滑閥泵滑閥泵是油封式真空泵的一種。由于滑閥泵比較耐用、可靠,國內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機以及干
4、燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級泵,但是滑閥泵鑄件重,加工工作量較大,所以國外各真空廠都在中國尋找合作伙伴。為了使國產(chǎn)滑閥泵能夠進入國際市場,必須進一步降低泵的振動噪聲,杜絕噴油和漏油,提高滑閥泵長期運行的可靠性。LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時間比低溫泵長。為了提高抽速,國外在分子泵的入口側(cè)裝一個130℃~150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,
5、水蒸氣被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點。首先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場合的需要。6.干式機械真空泵國外干式機械真空泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導(dǎo)體行業(yè)已
6、全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa~102Pa,抽速從20m3h~500m3h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%,國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應(yīng)大力研究開
7、發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。真空泵技術(shù)進展趨勢真空泵技術(shù)進展趨勢(上)上)技術(shù)發(fā)展的原動力在于市場的需求。由于真空技術(shù)領(lǐng)域的擴展和迅速成長的高新技術(shù),國內(nèi)真空泵市場對真空泵的技術(shù)水平提出了更高的要求。真空泵的生產(chǎn)企業(yè)必須通過技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整兩個途徑來保住原有市場,進而繼續(xù)擴大市場占有率。(1)提高真空泵的可靠性,降低振動、噪聲,注重真空泵的綜合水平。過去的若干年,生產(chǎn)廠注重真空泵的主要性能指標(biāo),比如,極限壓力、
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