培訓(xùn)系列之13(巴德純)真空設(shè)備的自動化控制

1、本文由luochen262貢獻ppt文檔可能在WAP端瀏覽體驗不佳。建議您優(yōu)先選擇TXT，或下載源文件到本機查看。真空技術(shù)講義真空設(shè)備的自動化控制巴德純CVD鍍膜機自動化控制CVD鍍膜機自動化控制實例1真空感應(yīng)電爐自動化控制2CVD真空鍍膜機自動化控制真空鍍膜機自動化控制3等離子體診斷VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)真空

2、感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)CVICVD分布式自動化控制技術(shù)研究王慶東北大學(xué)真空與流體工程研究中心Tel:13066764562VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.1課題的提出真空感應(yīng)爐是生產(chǎn)鎳基高溫合金、鈦合金、不銹鋼、a.真空感應(yīng)爐是生產(chǎn)鎳基高溫合金、鈦合金、不銹鋼、超高強度鋼等特種合金材料的重要冶煉設(shè)備。超高強度鋼等特種合

3、金材料的重要冶煉設(shè)備。自動控制系統(tǒng)是真空感應(yīng)爐的一個重要組成部分，控制系統(tǒng)是真空感應(yīng)爐的一個重要組成部分，直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。目前，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。目前，我國真空感應(yīng)冶煉過程控制技術(shù)落后、自動化水平低，過程控制技術(shù)落后、自動化水平低，已成為制約真空感應(yīng)爐發(fā)展的一個瓶頸?？崭袘?yīng)爐發(fā)展的一個瓶頸。隨著市場對材料質(zhì)量要求越來越高，b.隨著市場對材料質(zhì)量要求越來越高，感應(yīng)爐生產(chǎn)工藝過程要求有更高的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，藝過程要求有更高的

4、穩(wěn)定性和可重復(fù)性，集散控制系統(tǒng)作為當(dāng)今主流的控制技術(shù)在真空冶金控制領(lǐng)域發(fā)揮著越來越重要的作用。發(fā)揮著越來越重要的作用。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.1課題的提出c.近年來DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用，DCS在可近年來DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用，DCS在可靠性、開放性、靠性、開放性、標(biāo)準(zhǔn)

5、化方面都有了很大的進步和發(fā)展，可實現(xiàn)高級復(fù)雜規(guī)律的控制。發(fā)展，可實現(xiàn)高級復(fù)雜規(guī)律的控制。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.2研究的意義真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強，a.真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強，同時由于其作為在特

6、種材料的制備設(shè)備需要溫度需要溫度、同時由于其作為在特種材料的制備設(shè)備需要溫度、流量的精確控制；另外需要控制的量又較多，確控制；另外需要控?zé)Y(jié)爐預(yù)抽真空，；首先機械旋片泵開啟對燒結(jié)爐預(yù)抽真空，真空度達到要求后開啟羅茨泵再進一步抽氣。再進一步抽氣。真空沉積爐工作：該工藝下要實現(xiàn)各種開關(guān)量的精確操作，自動的進料、真空沉積爐工作：該工藝下要實現(xiàn)各種開關(guān)量的精確操作，自動的進料、出料，真空度的在線檢測、燒結(jié)溫度的測控，路氣體流量的測量與控制出料，

7、真空度的在線檢測、燒結(jié)溫度的測控，對6路氣體流量的測量與控制可以使用任意一套真空機組；首先機械選片泵開啟對燒結(jié)爐預(yù)抽真空，，可以使用任意一套真空機組；首先機械選片泵開啟對燒結(jié)爐預(yù)抽真空，真空度達到要求后開啟羅茨泵再進一步抽氣。真空度達到要求后開啟羅茨泵再進一步抽氣。真空燒結(jié)爐和沉積爐同時工作：各種開關(guān)量的精確操作，套真空機組可以真空燒結(jié)爐和沉積爐同時工作：各種開關(guān)量的精確操作，2套真空機組可以同時工作也可以分別開啟，全程的溫度、流量測控

8、，真空度的在線監(jiān)測，同時工作也可以分別開啟，全程的溫度、流量測控，真空度的在線監(jiān)測，物料的自動進退等。物料的自動進退等。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina真空感應(yīng)CVICVDCVICVD系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)控制方案VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversi

9、tyChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案示意圖VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案連接圖VacuumFluidEngineeringRe

10、searchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案連接圖VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD真空系