硅片切割廢料回收碳化硅粉體的研究.pdf

1、硅片是半導(dǎo)體、太陽能等行業(yè)的基本材料，在硅片切割加工的廢料中，含有大量的碳化硅、硅粉和鐵屑。從該廢料中回收經(jīng)濟(jì)價值較高的碳化硅，可回用于硅片切割，也可用于制造半導(dǎo)體、陶瓷等。
　　首先，本文通過酸堿提純法對廢料進(jìn)行提純實驗研究，分別探討了廢料酸洗除雜過程中各因素(酸的濃度、液固比、反應(yīng)時間、反應(yīng)溫度)以及堿洗除雜過程中各因素(堿液的種類、堿液的濃度、液固比、反應(yīng)時間、反應(yīng)溫度)對碳化硅純度的影響。通過實驗得出以下結(jié)論：酸洗條件：酸

2、的濃度為3.0mol/L、液固比為2.0:1mL/g、反應(yīng)溫度為60℃、反應(yīng)時間為50min。堿洗條件：NaOH溶液濃度為15％，液固比為2.5:1mL/g，反應(yīng)溫度為50℃，反應(yīng)時間為8min。提純后碳化硅的純度達(dá)到99.44%。同時，對廢料固體組分中雜質(zhì)鐵與鹽酸的反應(yīng)動力學(xué)進(jìn)行了研究，并獲得了動力學(xué)參數(shù)。結(jié)果表明，該反應(yīng)過程符合流-固相非催化反應(yīng)中的收縮未反應(yīng)芯模型，該過程的控制步驟為流體滯流膜控制。
　　其次，本文通過泡沫浮