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1、采用靜電放電仿真器對(duì)集成電路進(jìn)行靜電放電模擬的測(cè)試,是目前業(yè)界最常見(jiàn)的做法。然而對(duì)于ESD荷電器件靜電放電仿真器而言,不同仿真器裝置之間的差異及一些ESD標(biāo)準(zhǔn)中未提及因素的影響,易造成測(cè)試裝置驗(yàn)證波形與標(biāo)準(zhǔn)波形發(fā)生偏離,從而令靜電放電測(cè)試波形的可重復(fù)性及不同測(cè)試裝置測(cè)試數(shù)據(jù)的可比性不強(qiáng),是目前在靜電放電波形研究中面臨挑戰(zhàn)。在靜電放電波形中放電峰值電流是基于荷電器件放電模式的放電測(cè)試裝置中波形驗(yàn)證的關(guān)鍵指標(biāo)。本文主要針對(duì)CDM荷電器件放電
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