SO型芯片引腳共面性在線光電質(zhì)檢儀的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、SO(Small Out-line)型芯片的引腳共面性(平整度)直接關(guān)系到后續(xù)回流焊的可靠性。目前大部分廠家采用人工目檢的方法對SO型芯片共面性進行檢測,但隨著生產(chǎn)廠家生產(chǎn)速度的提高和上游組裝廠家對引腳共面性精度要求的提高,人工目檢的弊端越來越凸現(xiàn)。
　　用于SO型芯片引腳共面性的快速在線質(zhì)檢儀器技術(shù)一直被日本、德國等少數(shù)幾個國家壟斷,因而造成該類儀器價格昂貴,難以在生產(chǎn)線上推廣。為了滿足國內(nèi)廠家對經(jīng)濟型在線共面性檢測的需求,本文

2、提出了一種集光、機、電、圖像處理技術(shù)于一體的儀器設(shè)計方案。本文闡述了該儀器的檢測原理與設(shè)計方法,并最后創(chuàng)新地成功研制成了商品樣機,為我國微電子制造業(yè)提供了一種新機型,對我國微電子行業(yè)的技術(shù)進步做出了積極的貢獻。
　　本文是作者學位研究成果的總結(jié),作者對以下幾個主要方面進行了研究:
　　1、詳細論述了匹配該檢測儀器的大視場(視場直徑達28mm),高分辨率攝錄物鏡的設(shè)計方法,并運用MTF函數(shù)對設(shè)計出的物鏡進行評價。最后闡述了基于

3、價值工程原理的CCD的選擇方法。
　　2、設(shè)計了與光學系統(tǒng)相匹配的照明系統(tǒng),并對雜散光的產(chǎn)生以及傳播途徑進行了分析,提出了幾種處理雜散光的有效辦法。
　　3、通過分析比較,選擇了適合本儀器的運動方案,闡述了基于該方案的運動控制系統(tǒng)的工作原理,并對步進電機驅(qū)動及其細分原理和電路設(shè)計進行了詳細的論述。
　　4、介紹了圖像處理的執(zhí)行步驟,闡述了圖像的獲取和預(yù)處理,并詳細論述了引腳端面和基準端面的掃描識別方法。
　　在近