納米聚焦離子束系統(tǒng)液態(tài)金屬離子源的研制.pdf

1、聚焦離子束(Focused Ion Beam-FIB)技術(shù)是一種集形貌觀測(cè)、定位制樣、成份分析、薄膜淀積和無(wú)掩?？涛g各過(guò)程于一身的新型微納加工技術(shù)。它大大提高了微電子工業(yè)材料、工藝、器件分析及修補(bǔ)的精度和速度，目前已經(jīng)成為微電子技術(shù)領(lǐng)域必不可少的關(guān)鍵技術(shù)之一,它為半導(dǎo)體器件加工制作的各個(gè)領(lǐng)域提供了一種新的解決方案。液態(tài)金屬離子源（Liquid Metal Ion Source-LMIS）的研制成功為FIB技術(shù)提供了一個(gè)小尺寸、高亮度、高

2、穩(wěn)定度的聚焦離子源部分，使得FIB技術(shù)的發(fā)展更加迅速。 本論文首先介紹了聚焦離子束和液態(tài)金屬離子源的發(fā)展歷史及現(xiàn)狀；其次介紹了液態(tài)金屬離子源的發(fā)射機(jī)理；然后對(duì)自主開發(fā)研制的DL-01型液態(tài)金屬離子源的源組件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)、發(fā)射針尖的腐蝕工藝、掛金屬鎵工藝、測(cè)試系統(tǒng)的設(shè)計(jì)以及加熱電源、離子加速高壓電源的設(shè)計(jì)作了介紹；接下來(lái)對(duì)該離子源的I-V特性、角電流密度、穩(wěn)定性以及壽命等性能進(jìn)行了測(cè)試，測(cè)試結(jié)果表明該源的各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到了設(shè)計(jì)要求，并