超快電信號電光采樣測試系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著微納電子技術(shù)、光電子技術(shù)和微納加工技術(shù)的飛速發(fā)展,電子器件呈現(xiàn)出微型化和高速化的發(fā)展趨勢.如何對這樣的超快器件,特別是在其工作于電路之中時,進(jìn)行準(zhǔn)確的性能評價,成為電子學(xué)發(fā)展道路上的主要挑戰(zhàn).傳統(tǒng)的電學(xué)測量方法受限于其固有的缺點,無法勝任這一工作. 在這樣的背景下,本課題采用原子力顯微鏡針尖氧化方法加工超快光導(dǎo)開關(guān)作為超快電信號產(chǎn)生源,研究并構(gòu)建電光采樣系統(tǒng)原型以實現(xiàn)對其的測量,同時對系統(tǒng)的關(guān)鍵組成部分進(jìn)行了分析和測試,以期

2、發(fā)展出應(yīng)用于超快器件輸出性能描述的自動測試系統(tǒng). 本論文的主要研究內(nèi)容和取得的研究成果如下: 1. 在查閱文獻(xiàn)的基礎(chǔ)上,對目前所應(yīng)用的各種超快電信號測量技術(shù)進(jìn)行了分析比較. 2. 通過分析光導(dǎo)開關(guān)的基本原理,設(shè)計超快光導(dǎo)開關(guān),包括襯底材料的選擇,具體結(jié)構(gòu)和加工方法的設(shè)計等；通過理論計算獲得超快光導(dǎo)開關(guān)的輸出特性. 3. 根據(jù)晶體光學(xué)原理,分析電光效應(yīng)產(chǎn)生的機(jī)理,并由此引申出電光采樣技術(shù)的原理,研究其主要評