壓電微懸臂梁共振檢測系統(tǒng)的研究.pdf

1、作為一種高靈敏度的傳感器件，微懸臂梁的應(yīng)用極為廣泛，最初是應(yīng)用于原子力顯微鏡(AFM)上，它的使用使AFM不僅具有原子級分辨力的顯微功能，還能夠探測探針和樣品間的原子級作用力。微懸臂梁有兩種工作模式，即彎曲模式和共振模式。在共振模式下，微懸臂梁具有很寬的動(dòng)態(tài)范圍和很高的分辨率，因此利用微懸臂梁共振頻率進(jìn)行檢測的方法越來越受到人們的關(guān)注。根據(jù)理論分析，微懸臂梁的共振頻率與其有效質(zhì)量的1/2次冪成倒數(shù)關(guān)系，當(dāng)被測物質(zhì)吸附于微懸臂梁上后，微懸

2、臂梁的共振頻率減小，通過檢測微懸臂梁共振頻率的變化可以進(jìn)行被測物質(zhì)的定量分析，利用這個(gè)原理可以構(gòu)建以微懸臂梁為傳感元件的系統(tǒng)。 壓電微懸臂梁由于鍍于其上的壓電層在振動(dòng)時(shí)會(huì)產(chǎn)生壓電電流，壓電電流的大小表征了微懸臂梁的振動(dòng)情況，這就為微懸臂梁共振頻率的檢測提供了電學(xué)的檢測手段。 本文的主要內(nèi)容包括： 1．微懸臂梁的振動(dòng)理論模型，微懸臂梁在空氣和液體中的共振頻率和微懸臂梁質(zhì)量的關(guān)系，共振頻率變化量和被測物質(zhì)量的關(guān)系，壓