場(chǎng)地微動(dòng)作用下防微振平臺(tái)的振動(dòng)分析.pdf_第1頁(yè)
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1、隨著現(xiàn)代工業(yè)的迅速發(fā)展和城市規(guī)模的日益擴(kuò)大,振動(dòng)對(duì)生產(chǎn)和生活環(huán)境的影響越來(lái)越大,而現(xiàn)代高科技生產(chǎn)設(shè)備對(duì)振動(dòng)的要求卻越來(lái)越嚴(yán)格,因此對(duì)防微振平臺(tái)振動(dòng)控制的研究成為工程界面臨的重要課題之一。本文結(jié)合廣東省某半導(dǎo)體公司手機(jī)芯片生產(chǎn)平臺(tái)的防微振測(cè)試和分析計(jì)算,對(duì)防微振平臺(tái)結(jié)構(gòu)在場(chǎng)地微動(dòng)作用下的振動(dòng)進(jìn)行了研究。
　　 本文結(jié)合振動(dòng)控制要求,對(duì)該工程的自由場(chǎng)地微動(dòng)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試,并且對(duì)自由場(chǎng)場(chǎng)地微動(dòng)的時(shí)域、頻域特性進(jìn)行分析,得到防微動(dòng)平臺(tái)時(shí)程

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