相位光柵的設(shè)計及其在激光束相干合成中的應(yīng)用.pdf

1、二元光學(xué)元件(DOE)在實現(xiàn)光波變換上具有許多卓越的、傳統(tǒng)光學(xué)難以具備的功能，在現(xiàn)代科技的諸多領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用。本文以二元光學(xué)技術(shù)應(yīng)用于ICF系統(tǒng)中為研究背景，針對ICF對DOE的特殊需要，對用于ICF系統(tǒng)中的衍射光學(xué)元件的設(shè)計、制作以及應(yīng)用中的相關(guān)問題進行了深入、系統(tǒng)的研究。 基于衍射光學(xué)元件設(shè)計的基本理論和方法，在普通Dammann光柵設(shè)計基礎(chǔ)上，提出衍射效率較高的矩形孔徑光柵、坐標相位調(diào)制型光柵以及隨機相位型光柵等的

2、優(yōu)化方法。對在二元光學(xué)設(shè)計領(lǐng)域中必然要用到的大規(guī)模優(yōu)化算法進行了研究，并對幾種二維相位光柵的設(shè)計結(jié)果進行了比較，使設(shè)計的光柵兼顧 衍射效率高、光柵結(jié)構(gòu)簡單和加工誤差寬容度較高等特點，為ICF系統(tǒng)中實現(xiàn)光束疊加的微光學(xué)元件的選擇和設(shè)計提供依據(jù)。 提出利用時間脈沖調(diào)制的灰度光刻技術(shù)加工相位光柵，在搭建的實驗裝置上，利用明膠干版作為記錄材料，獲得了一次光刻制作相位光柵的實驗結(jié)果。該方法對微光學(xué)元件加工技術(shù)的發(fā)展有促進意義。 根據(jù)ICF