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文檔簡介
1、隨著AlGaN/GaN HEMT朝著高頻、大功率的方向不斷發(fā)展，采用空氣橋?qū)崿F(xiàn)獨立源端或漏端的互連，具有低寄生電容、方便制備、高可靠性等優(yōu)點，越來越體現(xiàn)出其重要性。本文首先從空氣橋的相關(guān)理論入手，分析得出一種便于制備、結(jié)構(gòu)強度高的拱形結(jié)構(gòu)空氣橋；然后，利用不同性質(zhì)的光刻膠組成的復(fù)合膠結(jié)構(gòu)，通過低溫烘烤，很方便的制備出比所涂膠層厚出約60％的拱形犧牲層，該犧牲層對橋下金屬有極強的保護(hù)作用；接著，再采用無毒電鍍液電鍍加厚空氣橋。試驗摸索出電
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