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1、高純四氯化硅(SiCl4)是生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅、太陽(yáng)能電池和光導(dǎo)纖維的基本原料，國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)緊俏，從海綿鈦及鈦白生產(chǎn)氯化液中回收提純SiCl4屬開拓性工作，至今國(guó)內(nèi)外尚無(wú)研究報(bào)道，因此具有重要的經(jīng)濟(jì)、環(huán)境和社會(huì)意義。 采用高效θ環(huán)填料和自制抗腐填料，對(duì)SiCl4回收液進(jìn)行精密精餾，探索并實(shí)現(xiàn)了從15％SiCl4原料分離制得99％以上的SiCl4，在總結(jié)多次小試實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)上，研究提出了制取高純度四氯化硅的一套相關(guān)工藝流程和分離制取方法。
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