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1、廈門大學(xué)碩士學(xué)位論文氧化錫薄膜電極的制備及其在微型薄膜鋰離子電池中的應(yīng)用姓名：蔡敏真申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：吳孫桃20080501中文摘要本研究還從實驗上實現(xiàn)了微型鋰離子電池的制備。我們利用廈門大學(xué)薩本棟微機(jī)電研究中心的實驗條件，采用MEMS微加工工藝，利用Snox做為電池負(fù)極材料，開發(fā)了LiCoOl2／LiPON／SnOx微型鋰離子電池的完整的制備工藝流程，掌握了工藝參數(shù)，并對所制備的微型鋰離子電池的電化學(xué)性能進(jìn)行
2、了研究。在測試電流為50nA，電壓范圍為10V45V之間進(jìn)行恒電流充放電測試，循環(huán)900次發(fā)現(xiàn)微型電池的容量保持在225nAh一272nAh之間。本論文的主要創(chuàng)新性工作有：利用射頻磁控濺射技術(shù)制備了用于鋰離子電池的氧化錫薄膜電極，并系統(tǒng)研究了射頻磁控濺射參數(shù)對氧化錫薄膜的晶體結(jié)構(gòu)以及電化學(xué)性能的影響；研制了LiC002／LiPON／SnOx微型薄膜鋰離子電池，采用光刻技術(shù)、反剝離技術(shù)、化學(xué)濕法腐蝕等MEMS微加工工藝，探索出一整套制備工
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