無衍射光斑尺寸和能量分布的測量.pdf

1、微細加工、光學存儲、光學成像等很多領(lǐng)域都對微光斑的能量分布有較高的要求，目前常見的測量方法多用來測量高斯分布的激光光束的尺寸和能量分布。實際無衍射微光斑的能量分布影響圖像恢復效果，無衍射微光斑尺寸及能量分布的測量可以為改進無衍射光濾波方法和參數(shù)的優(yōu)化提供依據(jù)，但實際無衍射光斑的能量分布可能不規(guī)則，光斑的尺寸小，而且強度很弱。本文用小孔對被測光斑二維掃描取樣，再對取樣信號處理后復原光斑的能量分布的方法，實現(xiàn)了對形狀和能量分布不規(guī)則、尺寸較

2、小、能量密度小的光斑能量分布的測量。
　　 采用內(nèi)外層嵌套的柔性鉸鏈機構(gòu)作為精密微動工作臺來帶動微米級小孔按很小的步距對被測光斑二維掃描取樣，以實現(xiàn)對尺寸較小、形狀和能量分布不規(guī)則的光斑的測量。分析和實驗均表明該掃描裝置具有較高的分辨率和位移精度。
　　 用光電倍增管作為光電探測器，接收小孔對光斑的取樣信號，再以低噪聲的I/V轉(zhuǎn)換電路和電壓放大電路處理取樣信號，使得測量裝置在信號處理方面具有高靈敏度、低噪聲的特點，實現(xiàn)了