標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置的研究與應(yīng)用.pdf

1、本文主要給出了利用小孔和四極質(zhì)譜計建立真空標(biāo)準(zhǔn)漏孔校準(zhǔn)裝置的原理和方法。 文中研究了小孔流導(dǎo)的基本特性，并給出了小孔流導(dǎo)的計算公式；提出了利用恒壓法對小孔流導(dǎo)進行測試，對選定的小孔的流導(dǎo)進行了測試，給出了小孔流導(dǎo)隨壓力變化的曲線方程。 利用小孔設(shè)計的氣體流量計，其流量可以任意調(diào)節(jié)，校準(zhǔn)時流量計提供的流量大小僅與穩(wěn)壓室的壓力有關(guān)，并且可以將流量計的流量調(diào)節(jié)到與被校漏孔漏率大小相等，再用四極質(zhì)譜計將二者進行比較，計算出漏孔的

2、漏率，這樣四極質(zhì)譜計只起比較器的作用，解決了四極質(zhì)譜計的線性以及長期穩(wěn)定性差影響校準(zhǔn)結(jié)果的問題。 由于穩(wěn)壓室中的氣體壓力高，不需要特別嚴格的材料處理工藝，不需要徹底的烘烤出氣就能得到純凈的單一氣體，滿足校準(zhǔn)工作的要求；測量范圍達到了(10<'-10>～10<'-5>)Pa·m<'3>/s，評定的合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.2％。通過對不確定度分量的分析可知，通過精確校準(zhǔn)電容薄膜規(guī)、控制溫度變化等方法可以進一步降低校準(zhǔn)不確定度。