柔性基板輸送系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)優(yōu)化及糾偏控制.pdf

1、在印刷、紡織、半導(dǎo)體封裝等柔性介質(zhì)生產(chǎn)領(lǐng)域，輥對輥(Roll to Roll，R2R)傳輸方式是最為常見的一種生產(chǎn)方式。在R2R 傳輸中，基板在輸送過程中的橫向側(cè)移及張力穩(wěn)定對加工對象的質(zhì)量和成品率至關(guān)重要。論文結(jié)合RFID 電子標簽封裝裝備研制，深入研究了R2R 傳輸機構(gòu)的設(shè)計、糾偏控制等關(guān)鍵問題。論文的主要研究成果有： 首先，從柔性基板的輸送整體方案入手，就基板輸送系統(tǒng)的機構(gòu)形式、張力實現(xiàn)形式以及橫向側(cè)移的控制方式與以前的機

2、型做了比較，得出現(xiàn)方案相對合理的結(jié)論。在此基礎(chǔ)上，提出并實現(xiàn)了基于PMAC的柔性基板輸送的整體控制。 其次，對R2R機構(gòu)的兩個關(guān)鍵部件-轉(zhuǎn)動輥筒和支撐側(cè)板進行了有限元分析。 基于分析結(jié)果，對R2R 進行了改進設(shè)計，可有效降低托輥的負載轉(zhuǎn)動慣量和明顯降低了支撐側(cè)板的重量。在此基礎(chǔ)上，對兩個關(guān)鍵部件進行了模態(tài)分析，結(jié)果表明，機構(gòu)在整體運行中主頻和固有頻率錯開，整體機構(gòu)運行穩(wěn)定。 最后，通過建立了橫向側(cè)移的數(shù)學(xué)模型，并