單晶銅水平牽引生長設備及自動控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、隨著半導體，集成電路和電子元器件質量的不斷取得突破，電子通信等相關產業(yè)的迅猛進步，對金屬材質的要求也越來越高，單晶線材的出現和應用適應了這一趨勢的發(fā)展要求，其應用和推廣成為未來電子發(fā)展的必然趨勢。但是由于其制造的特殊性，制造設備的研制成為推動單晶線材應用的一個重要因素。 本文根據單晶銅的生長的環(huán)境要求，針對單晶銅生長的關鍵環(huán)節(jié)對單晶銅的設備進行了改進，使其更加有力于單晶銅的生長。并且對設備進行了自動化改造，大大提高其自動化程度。

2、利用PID自整定技術對爐體進行溫度控制，把爐溫精確的控制在所需要的溫度范圍之內。另外，針對電阻絲加熱的特點，利用PID的無超調技術解決了電阻絲加熱的超調問題，大大提高了溫度的精確度。 整個機構采用交流伺服電機控制，并且根據牽引速度和液面高度的關系，利用插補原理，實現對牽引速度和液面高度的控制，來實現牽引系統(tǒng)和液面控制系統(tǒng)的協(xié)調運動，從而保證了制出的單晶銅線材平滑，不會出現斷裂等缺陷。本系統(tǒng)的控制核心采用AT89C52單片機，通過