200mm全自動(dòng)探針測試臺工作臺控制系統(tǒng)的研究.pdf

1、探針測試臺是半導(dǎo)體工藝線上的中間測試設(shè)備，與測試儀連接后，能自動(dòng)完成對集成電路及各種晶體管芯的電參數(shù)測試及功能測試。本課題主要研究的是200mm全自動(dòng)探針測試臺工作臺的伺服控制系統(tǒng)，是隨著半導(dǎo)體器件及集成電路工藝制造技術(shù)的飛速發(fā)展，根據(jù)國內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展和市場需求，中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所自行研制開發(fā)的200mm全自動(dòng)探針測試臺課題的子課題。 本論文主要闡述了200mm全自動(dòng)探針測試臺工作原理和測試過程，研究了該工作

2、臺控制系統(tǒng)的組成和結(jié)構(gòu)。分析了控制系統(tǒng)中各個(gè)部件的性能和作用，并根據(jù)其特點(diǎn)和工作臺的測試要求對其關(guān)鍵部件(交流伺服電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器、運(yùn)動(dòng)控制卡、光柵尺等)進(jìn)行了選取。根據(jù)控制原理確定該控制系統(tǒng)中各個(gè)環(huán)節(jié)的數(shù)學(xué)模型，并利用MATLAB仿真軟件中的Simulink軟件包進(jìn)行系統(tǒng)仿真，得出系統(tǒng)在階躍響應(yīng)輸入條件下的仿真曲線。本控制系統(tǒng)采用基于PMAC多軸運(yùn)動(dòng)控制卡的閉環(huán)控制系統(tǒng)，利用PMAC運(yùn)動(dòng)控制卡自帶的參數(shù)調(diào)節(jié)工具軟件PEWIN進(jìn)行系統(tǒng)PID