基于C-S構(gòu)架的分布重復(fù)精縮機(jī)控制系統(tǒng)研制.pdf

1、半導(dǎo)體器件制造技術(shù)是本世紀(jì)中期發(fā)展起來的一門新技術(shù)。精縮機(jī)是集成IC器件制造的關(guān)鍵設(shè)備之一。其主要問題是要滿足不斷提高的工作分辨力、套刻和生產(chǎn)效率三項技術(shù)指標(biāo)，其中光刻工作臺系統(tǒng)的定位精度和重復(fù)精度，是決定光刻線條粗細(xì)和曝光圖形套刻精度的重要因素。目前國內(nèi)外研制成功計算機(jī)輔助制版系統(tǒng)和由它控制的自動制圖機(jī)、光學(xué)圖形發(fā)生器等高精度自動制版設(shè)備，以及激光圖形發(fā)生器、電子束圖形發(fā)生器等新的制版設(shè)備?；诖耍糜嬎銠C(jī)豐富的資源，采用先進(jìn)的開放

2、式運(yùn)動控制技術(shù)，以及基于C/S構(gòu)架的網(wǎng)絡(luò)視頻技術(shù)對高精度分布重復(fù)精縮機(jī)的控制系統(tǒng)進(jìn)行了研制，同時開發(fā)了相應(yīng)的應(yīng)用軟件。 本文的研究內(nèi)容主要包括： 1、研究半導(dǎo)體器件的制版工藝，分析其生產(chǎn)原理與流程。 2、研究應(yīng)用開放式運(yùn)動控制技術(shù)，構(gòu)建基于PC及DSP上下位控制的精縮微動控制系統(tǒng)。 3、研究應(yīng)用基于TCP/UDP協(xié)議的遠(yuǎn)程控制和視頻監(jiān)控技術(shù)。 4、開發(fā)基于C/S構(gòu)架的高精度分布重復(fù)精縮機(jī)的軟件，滿