基于DSP的離焦信號(hào)同步采集與處理技術(shù)研究.pdf

1、激光直寫機(jī)是制作衍射光學(xué)元件的關(guān)鍵設(shè)備，離焦檢測(cè)技術(shù)是其中的重要單元技術(shù)之一。離焦檢測(cè)系統(tǒng)為聚焦伺服系統(tǒng)提供聚焦誤差信號(hào)，使寫入光斑經(jīng)過(guò)伺服控制后能夠精確聚焦于光刻膠表面，從而保證刻蝕質(zhì)量。
　　本文基于差動(dòng)像散法對(duì)激光直寫系統(tǒng)中的離焦信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，針對(duì)原有采集系統(tǒng)存在的信號(hào)采集同步性差、實(shí)時(shí)性低的問(wèn)題，提出了基于DSP的同步信號(hào)采集技術(shù)，由DSP控制CPLD同時(shí)觸發(fā)四路AD采集信號(hào)，得到聚焦誤差信號(hào)與離焦量的對(duì)應(yīng)關(guān)系，實(shí)現(xiàn)離焦誤

2、差信號(hào)的多路同步、實(shí)時(shí)、高精度采集。
　　本文基于TMS320LF2407A芯片實(shí)現(xiàn)了采集電路的軟硬件設(shè)計(jì)。采集電路系統(tǒng)由DSP、CPLD、光電信號(hào)轉(zhuǎn)換和放大、AD轉(zhuǎn)換器、存儲(chǔ)器和DA轉(zhuǎn)換器等部分組成。重點(diǎn)介紹了采集電路的硬件設(shè)計(jì)和軟件的實(shí)現(xiàn)，給出了相應(yīng)的硬件原理圖和軟件流程圖。
　　在以上研究工作的基礎(chǔ)上，搭建了光學(xué)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)并進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試，測(cè)試結(jié)果表明，該采集系統(tǒng)消除了激光光強(qiáng)不穩(wěn)定等因素對(duì)聚焦誤差信號(hào)的影響，提高了系統(tǒng)