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1、隨著半導(dǎo)體激光器泵浦固體激光器技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展,要求半導(dǎo)體激光器泵浦源有更高功率的同時還要有更好的光束質(zhì)量特性。對于大功率半導(dǎo)體泵浦源而言,寬條形半導(dǎo)體激光器是它的一個主要發(fā)展方向。但由于寬條形半導(dǎo)體激光器本身固有的特點,諸如空間燒孔、自聚焦、熱透鏡現(xiàn)象、模式競爭等對半導(dǎo)體激光器的工作存在嚴(yán)重影響,特別是不存在適當(dāng)?shù)膫?cè)向光場限制措施時,它的光束特性與理想高斯光束相差很大。反映在光束質(zhì)量因子上便是M<'2>遠(yuǎn)大于1,這是許多應(yīng)用所不能夠接
2、受的。在此根據(jù)載流子的空間擴散原理提出了兩種側(cè)向限制結(jié)構(gòu),通過優(yōu)化影響光束質(zhì)量的因素使得器件的光束質(zhì)量因子明顯降低、光束質(zhì)量得到改善。 理論和實驗表明:普通寬條形半導(dǎo)體激光器的光束特性可以通過載流子擴散方式加以改善。本論文主要圍繞高光束質(zhì)量的790nm單量子阱寬條形半導(dǎo)體激光器的設(shè)計、工藝制備及特性評價進(jìn)行了深入研究,主要工作包括以下幾個方面: 1、基于器件理論及工藝過程論述了設(shè)計器件的原理與半導(dǎo)體激光器的制作工藝。
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