精密光電器件超聲復(fù)合研磨技術(shù)與裝備研究.pdf

1、隨著光通信技術(shù)的發(fā)展，光纖連接器得到了廣泛的應(yīng)用。但由于回波損耗偏低、插入損耗偏高和表面變質(zhì)層等原因，光纖連接器端面的超精密加工仍有待進(jìn)一步解決。近年來，難加工材料的精密加工中，超聲波加工技術(shù)、電加工技術(shù)、和各種復(fù)合加工新技術(shù)得到了巨大的發(fā)展，它們普通加工無法比擬的工藝效果。但是，在研磨這一領(lǐng)域里，目前大多為游離磨粒的研磨，很少涉及固著磨粒的超聲復(fù)合研磨。基于超聲復(fù)合研磨的一系列優(yōu)越性，本文將超聲振動(dòng)引入光纖連接器端面研磨的界面，探討了

2、光纖連接器端面超聲復(fù)合研磨的方法。同時(shí)，對(duì)超聲復(fù)合研磨工藝所需要的工藝裝備進(jìn)行了設(shè)計(jì)。為相關(guān)試驗(yàn)提供了硬件平臺(tái)。 本文先介紹了光纖連接器的發(fā)展現(xiàn)狀以及加工中存在的一些關(guān)鍵問題。然后從理論上分析陶瓷脆性材料精密研磨的加工機(jī)理，在此基礎(chǔ)上對(duì)超聲復(fù)合研磨作了運(yùn)動(dòng)分析以及材料去除機(jī)理分析;對(duì)于普遍關(guān)心的問題，如加工效率作了深入的探討。在隨后的章節(jié)中設(shè)計(jì)了超聲復(fù)合研磨的關(guān)鍵設(shè)備，包括超聲波發(fā)生器，換能器、變幅桿。在本文韻最后進(jìn)行了大量的試