絕對式線位移光柵傳感器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、絕對式線位移光柵傳感器，是一種集光、機(jī)、電為一體的數(shù)字測線位移裝置，是以高精度計(jì)量矩形光柵為檢測元件，通過光電轉(zhuǎn)換將直線位移轉(zhuǎn)化為電信號(hào)，通過比較、放大、整形、校正、細(xì)分、譯碼等處理后和計(jì)算機(jī)相連可實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)檢測和實(shí)時(shí)控制。本文提出了一種新型的編碼方式，得出直線位置和編碼一一對應(yīng)的編碼，并運(yùn)用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)了譯碼；為了提高測量精度對增量光柵尺的輸出信號(hào)進(jìn)行細(xì)分，細(xì)分后精度可達(dá)到3 μ m；以編碼尺為核心設(shè)計(jì)了照明系統(tǒng)，確定了以線陣CCD

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