氣囊式拋光機(jī)床電主軸的研制.pdf

1、光學(xué)元件超光滑表面的獲得主要有超精密磨削、單點(diǎn)金剛石車(chē)削和拋光等超精密加工方法，而拋光應(yīng)用得最為廣泛。氣囊式拋光技術(shù)是一種新穎的先進(jìn)拋光工藝方法，能實(shí)現(xiàn)光學(xué)表面的確定性加工。
　　氣囊式拋光的關(guān)鍵技術(shù)有：拋光機(jī)床技術(shù)、拋光工藝、拋光數(shù)字控制算法。其中，拋光機(jī)床是拋光的設(shè)備，是拋光技術(shù)研究的基礎(chǔ)。拋光主軸是氣囊式拋光機(jī)床的關(guān)鍵部件之一，它既是拋光工具，同時(shí)也是進(jìn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的一部分。電主軸是主軸與電機(jī)一體化的結(jié)構(gòu)單元，將它作為拋光主軸，能

2、很好的滿足氣囊式拋光獨(dú)特的運(yùn)動(dòng)要求。本文就拋光電主軸的研制進(jìn)行了以下工作：
　　首先，闡述了氣囊式拋光的基本原理和特點(diǎn)、拋光工藝流程、進(jìn)動(dòng)拋光運(yùn)動(dòng)。在此基礎(chǔ)上，分析了拋光機(jī)床對(duì)加工表面質(zhì)量的影響，得出拋光機(jī)床對(duì)主軸的要求。
　　然后，根據(jù)氣囊式拋光對(duì)電主軸的獨(dú)特要求，設(shè)計(jì)并制造了電主軸系統(tǒng)。其中包括：電機(jī)的設(shè)計(jì)與選擇；軸承選型與配置、軸承潤(rùn)滑設(shè)計(jì)、限位與預(yù)緊技術(shù)；冷卻方案的確定等關(guān)鍵技術(shù)。
　　最后，通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試并分析