基于純水介質(zhì)電解加工的可行性及水催化解離研究.pdf

1、電解加工能夠?qū)崿F(xiàn)原子級(jí)精度的加工，而且不會(huì)破壞工件表面的物理性質(zhì)。但是傳統(tǒng)電解加工的電解液具有腐蝕性，同時(shí)不可避免對(duì)工件表面造成污染。針對(duì)這一問題，本文提出使用純水作為電解液用于電解加工的新思路。純水微細(xì)電解加工是一種低成本、環(huán)境友好的加工方法，可用于電子裝置和半導(dǎo)體材料納米級(jí)精度的加工，在加工精密零件方面有著廣闊的應(yīng)用前景。 本文采取理論與實(shí)驗(yàn)相結(jié)合的研究方法，進(jìn)行了大量的電化學(xué)測試實(shí)驗(yàn)，并根據(jù)目前水解離理論研究的最新成果，同

2、時(shí)結(jié)合其在電解加工中的應(yīng)用，探討了在微細(xì)電解加工中純水用作電解液的可行性及相應(yīng)的水解離理論。 將離子交換樹脂預(yù)處理、負(fù)載修飾后，在電解加工間隙進(jìn)行填料，通過測量電流-電壓特性曲線研究了離子交換樹脂對(duì)水解離反應(yīng)的影響。并借助篩選出的高效的離子交換材料，設(shè)計(jì)相應(yīng)的電極組件，用純水代替常規(guī)電解液，對(duì)銅片進(jìn)行電解加工試驗(yàn)。 實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：借助離子交換樹脂純水代替常規(guī)電解液用于電解加工具有可行性；樹脂表面荷電基團(tuán)的催化解離水的能力