石英玻璃ELID磨削表面質(zhì)量研究.pdf

1、本文是采用ELID磨削(ElectrolyticIn-ProcessDressing，ELID)方法對(duì)石英玻璃進(jìn)行塑性加工的研究。采用ELID磨削工藝提高了加工精度、降低了表面粗糙度。實(shí)驗(yàn)用GM73-Ⅲ型平面切入磨床，采用鑄鐵短纖維結(jié)合劑金剛石砂輪，配合在線電解修整，經(jīng)過對(duì)電解電流、砂輪轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量等工藝參數(shù)的條件實(shí)驗(yàn)及優(yōu)化，加工出高精度、低粗糙度的石英玻璃；研究了砂輪轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量等工藝參數(shù)對(duì)石英玻璃表面粗糙度的影響；采用原子力顯微鏡(

2、AtomicForceMicroscope，AFM)對(duì)石英玻璃磨削表面進(jìn)行了形貌分析，利用表面光度儀(XP-2TM)測(cè)量石英玻璃磨削表面的粗糙度，用JD22型數(shù)字式立式測(cè)長儀測(cè)定了石英玻璃磨削表面的平整度，探討了微觀磨削機(jī)理及石英玻璃的磨削加工塑性域。 分析結(jié)果表明，本實(shí)驗(yàn)中在砂輪結(jié)合劑中加入稀土氧化物CeO2后，砂輪孔隙減少，顯微組織細(xì)化，金屬結(jié)合劑與金剛石顆粒的結(jié)合性能得到了明顯改善，提高了結(jié)合劑對(duì)金剛石顆粒的把持能力，從而