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1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文吸附效應(yīng)對NEMS器件特性的影響研究姓名:劉同慶申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:于虹20070326AbstractMicro—electromechanicalsystem(MEMS)isasystemwhichcontainsmicroelementsofheat,magnetism,liquidandoptics,mixessiliconmicroprocessingandfinemach
2、ining,together、^,itIImicroelectronicfabricationIthaswideapplicationinmanyareasNano—electromechanicalsystem(NEMS)witllllanoscaledimensionandsomespecialcharacteristics,isdevelopingfromMEMSNEMShasbggomeattractivemo∞andmore,
3、andhasbeenmuchdevelopedinlastfewyears,becauseitCanoffermanyexcellentcharacteristiCSHoweversomeclassicalmechanicstheoriesmaynotbeappliedtollanodevices,forexample,Yo岫g’Smodulus,ismuchdifferentbetweenthevaluesofmeasureandca
4、lculationbyclassicaltheoryInaddition,theinfluenceofthermoelasticdampingairdampinglatticedefects,andphononscatteringondevicecharacteristicsmaychangeWithsurfacetovolumeratiobeinglargerandlargertheproportionofsurfaceenergyi
5、shigherandhigherandthesurfaceeffectbecomesmoreimportantTheinfluenceofadsorptiondesorptionisverysmallandCanbeignoredinMEMS,butitshouldbeconsideredinNEMS,andithasbecomeanimportantfactorwhichaffectsNEMSdevicesThetopicofthet
6、hesisistostudytheinfluenceofadsorptiondesorptiononthecharacterofthenanobeamsThestudyfocusesonthreeaspects:theeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyofdoubleclampednanobeams,theinfluenceonQfactorandsurfacestressin
7、ducedbyadsorptiondesorptionThestudyontwoformeraspectsiscardedouttheoreticallyandthet11irdpartisstudiedbyusingsoftwareofmoleculardynamicsItisfoundthattheeffectofadsorptiondesorptiononresonantfrequencyisverylarge,muchlarge
8、rthanthatofairdampingAdsorptiondesorptionmayalsoaffecttheQfactordependingonenvironmentsuchastemperatureandairpressureAdsorption—desorptionCallinducesurfacestress,whichCanmakenanocantileverbendInaword,innanoscale,theinflu
9、enceofadsorptioncall’tbeignored,itmaybecomedominantfactoratsomeaspectsTheresultsCanbehelpfultodesignNEMSdevicesandanalyzedevicecharactersKeyword:Nanoelectromechanicalsystem(NEMS),effectofadsorption,resonantfrequencyquali
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