凝聚態(tài)光譜在硅太陽能電池中的應用.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、上海交通大學碩士學位論文凝聚態(tài)光譜在硅太陽能電池中的應用姓名:梅俊杰申請學位級別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導教師:沈文忠20070101中文摘要 – ii – 息, 是提取 a-SiNx:H 薄膜光學性質的最佳介電函數(shù)模型。 我們還討論了擬合結果與生長參數(shù)、退火作用的關系,并基于 Wemple-DiDomenico模型分析了 a-SiNx:H 薄膜帶隙以下折射率的色散行為。 然后,我們利用紅外吸收光譜研究了 a-SiNx:H 薄膜 Si–

2、N、Si–H、 N–H 鍵的濃度以及 Si、N、H 的原子密度,分析了生長條件、退火作用對化學鍵鍵合狀態(tài)的影響;并進一步結合之前提取的光學常數(shù),研究了a-SiNx:H 材料微觀結構和光學性質之間的聯(lián)系,揭示出高沉積溫度對硅襯底的鈍化作用更為有利。 最后我們研究了 a-SiNx:H 薄膜隨溫度變化的光致發(fā)光(PL)性質,提出了 PL 可能的發(fā)光機制, 并分析了 PL 強度和峰位隨生長條件、 退火工藝的變化情況。我們還分別通過理論和經(jīng)驗公式

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