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文檔簡介
1、本文創(chuàng)造性地將化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)應(yīng)用于紡織鋼領(lǐng)的拋光中。通過試驗(yàn)表明:相對于傳統(tǒng)的磨料流加工(AFM)技術(shù),CMP技術(shù)拋光鋼領(lǐng)時具有拋光效率高、表面光潔度好等優(yōu)點(diǎn)。 通過正交試驗(yàn)的方法,找出了公轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速、磨料容積比等諸多因素影響下的最好水平組合,并且,應(yīng)用這種最好組合所做的拋光試驗(yàn),也取得了令人滿意的結(jié)果。 通過計(jì)算流體力學(xué)(CFD)的方法,發(fā)現(xiàn)料桶形狀和轉(zhuǎn)動比對拋光效率也存在著影響。轉(zhuǎn)動比控制著行星料桶內(nèi)部液固兩
2、相的流念特征,而不同的流態(tài)特性影響著鋼領(lǐng)的拋光效率。將模擬結(jié)果與高速攝影的試驗(yàn)進(jìn)行了對比,結(jié)果表明CFD模擬結(jié)果是很可靠的。通過對比各種轉(zhuǎn)動比下的特征圖,發(fā)現(xiàn)隨著轉(zhuǎn)動比的增大,行星料桶內(nèi)部磨料經(jīng)歷了由堆積在料桶一側(cè)到彌散最后再到堆積在料桶四周的一系列的變化過程。而磨料在料桶中的彌散程度對拋光效率的影響也是顯著的,當(dāng)磨料堆積在一側(cè)時,分布在另一側(cè)的鋼領(lǐng)難以達(dá)到與在磨料中的鋼領(lǐng)同樣的拋光效果:同樣,當(dāng)磨料緊貼在料桶壁面的四周時,分布在料桶中
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