PZT晶片敏感元分析及性能實(shí)驗(yàn).pdf_第1頁(yè)
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1、在紅外探測(cè)技術(shù)飛速發(fā)展和廣泛應(yīng)用的今天，紅外敏感元的研究具有重大的實(shí)用價(jià)值和巨大的經(jīng)濟(jì)效益。本文主要研究的PZT(鋯鈦酸鉛)晶片敏感元就是紅外敏感元的一種。 本文推導(dǎo)了PZT晶片敏感元的理論模型，進(jìn)而分析了PZT晶片的厚度、寬度以及吸收層的面積對(duì)PZT敏感元輸出的影響，并且將標(biāo)準(zhǔn)器件參數(shù)代入理論公式驗(yàn)證了理論推導(dǎo)的正確性。通過(guò)PZT晶片敏感元的分析(其中包括組分，表面形貌，結(jié)構(gòu)，封裝集成等)進(jìn)而指導(dǎo)實(shí)際的制作加工。通過(guò)PZT晶片

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