基于雙縱模雙頻激光干涉測量的位移傳感器自動檢定系統(tǒng)的研究.pdf

1、該學(xué)位論文以為成都飛機工業(yè)集團公司研制雙頻激光干涉儀和位移傳感器自動檢定系統(tǒng)為基礎(chǔ),完成了以下研究工作:1.對雙頻激光干涉儀的工作原理進行了理論分析,首重分析了其主要影響因素:雙頻激光平均頻率漂移;雙頻激光差頻漂移;高斯光束干涉附加項在測量過程中的變化及其對相位變化的影響,與測量鏡運動引起的程差變化的關(guān)系.2.分析了激光頻率的穩(wěn)定性、復(fù)現(xiàn)性的定義及影響激光頻率穩(wěn)定的因素;介紹了常見的穩(wěn)頻及產(chǎn)生雙頻的方法;分析論證了激光器雙縱模熱穩(wěn)頻的使

2、用條件和有關(guān)參數(shù)的關(guān)系.3.以上述研究為基礎(chǔ)改進和重新設(shè)計了雙縱模雙頻激光干涉儀.4.細分及可逆計數(shù)系統(tǒng)首次采用了經(jīng)放大整形的兩路相位相差90°的計數(shù)脈沖信號作為EPROM的地址輸入控制其數(shù)據(jù)輸出,而數(shù)據(jù)輸出又返回來控制地址輸入.5.對雙縱模雙頻激光干涉儀的精度理論分析表明其最大測量誤差為:δ=±(0.2+10<'-6>L)μm(L單位為μm).在中國測試技術(shù)研究院GZJ-1型長光柵自動檢測儀上與美國HP5528雙頻激光干涉儀進行的比對