基于PLC的第三代MOCVD控制系統(tǒng)研究與設(shè)計.pdf

1、GaN系第三代半導(dǎo)體材料在光電、能量裝置等方面有著廣泛的應(yīng)用范圍和市場前景，采用MOCVD技術(shù)進行GaN系材料生長具有明顯優(yōu)勢。目前，生產(chǎn)型MOCVD系統(tǒng)設(shè)備在國內(nèi)處于空白，大多從國外進口，因此研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)型MOCVD系統(tǒng)設(shè)備具有十分重要的戰(zhàn)略意義。文本項目來源為國家863半導(dǎo)體照明工程，針對西安電子科技大學(xué)第三代生產(chǎn)型MOCVD系統(tǒng)設(shè)備，根據(jù)工藝要求，進行了MOCVD控制系統(tǒng)的研究與設(shè)計。 MOCVD控制系統(tǒng)選

2、用Simens S7-300可編程控制器作為核心控制器，選用Simens WinCC進行上位機監(jiān)控界面開發(fā)。根據(jù)控制系統(tǒng)特點和材料生長工藝要求，進行了下位機PLC硬件配置組態(tài)和軟件程序設(shè)計。分別設(shè)計了手動、自動控制程序，設(shè)計了系統(tǒng)自動運行時的初始化、總體控制、步序控制、循環(huán)控制、模擬量漸變輸出、模擬量輸入、數(shù)字量輸入輸出、報警及故障處理等子程序。設(shè)計了系統(tǒng)上位機監(jiān)控界面，新的監(jiān)控界面直觀、形象，操作方便。 MOCVD設(shè)備已投入