電沉積非晶鈷硼合金工藝.pdf

1、鈷硼合金作為集元件與材料為一體的新型薄膜，具有良好的機械性能、化學(xué)性能、物理性能，得到了廣泛的應(yīng)用，并引起了材料工作者的廣泛關(guān)注。國內(nèi)外在水溶液中制備鈷硼合金，不斷朝著顯微結(jié)構(gòu)非晶化、尺寸低維化的方向發(fā)展，以優(yōu)化其各方面性能。我們率先采用電沉積方法在水溶液中制備出了鈷硼非晶合金。 本文由六章組成。第一章主要闡述了非晶態(tài)合金的特點、類型、制備、歷史、形成及價值;第二章簡述了電沉積基本理論;第三章介紹了實驗方法。 第四章、第

2、五章是我們實驗的主要工作。第四章設(shè)計了一套試驗方案:首先采用試錯法來確定鍍液組成。然后，以鍍速為評價指標(biāo)，通過正交實驗確定了電沉積鉆硼合金鍍層的基礎(chǔ)鍍液。最后使用單因素試驗法，研究了鍍液各組分濃度、pH值變化、溫度、電流密度對沉積速度的影響，并提出了最佳工藝參數(shù)。通過對工藝的一系列優(yōu)化，沉積速率有了大幅度提高。而且鍍層光亮，與基體結(jié)合能力好。 第五章，通過X射線(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、掃描隧道顯微鏡(STM)等方法