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1、該文的研究?jī)?nèi)容分為以下兩方面:1.研究了Si(001)面偏[110]方向6°斜切襯底上Ge量子點(diǎn)的固相外延生長(zhǎng).實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在Si(001)6°斜切襯底上固相外延生長(zhǎng)Ge量子點(diǎn)的最佳退火溫度為640℃,在斜切襯底上成島生長(zhǎng)的臨界厚度低于在Si(001)襯底成島生長(zhǎng)的臨界厚度,6斜切襯底上淀積0.7nmGe即可成島,少于Si(001)襯底上Ge成島所需的淀積量.從Ge量子點(diǎn)的密度隨固相外延溫度的變化曲線(xiàn),得到Ge量子點(diǎn)的激活能為2.Oe
2、V,遠(yuǎn)高于Si(111)面上固相外延Ge量子點(diǎn)的激活能0.3eV.實(shí)驗(yàn)亦發(fā)現(xiàn),在Si(001)斜切襯底上固相外延生長(zhǎng)的Ge量子點(diǎn)較Si(001)襯底上形成的量子點(diǎn)的熱穩(wěn)定性要好.2.PL譜測(cè)量得到了外延生長(zhǎng)Ge量子點(diǎn)的發(fā)光峰.利用分子束外延,在Si(001)襯底上淀積了三層10nm厚的Ge層,每層Ge中間由Si間隔層隔開(kāi).由AFM和XTEM觀察到,埋在Si中的Ge層和表面的Ge層均已成島.700℃退火后,在低溫下觀察到了位于900meV
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