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文檔簡介
1、該論文的主要任務(wù)是在研究光成型技術(shù)的基礎(chǔ)上,探討將其引入到微細加工領(lǐng)域應(yīng)用的可能性,研究并開發(fā)一套可以完成微型/微小結(jié)構(gòu)制造的"微細光成型"系統(tǒng).它包括三維成型裝置及其伺服控制系統(tǒng)的研制;非激光光源的微細光束紫外光源的研制;系統(tǒng)軟件的研制等.該文的工作不僅通過研制高精度的三維成型系統(tǒng),來滿足微細光成型技術(shù)的需要,還研制開發(fā)了經(jīng)濟實用的滿足微細成型加工的非激光的微細光束紫外光源;同時,在圖形數(shù)據(jù)處理方面,從進一步減少原理誤差的角度,給出了
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