TPS外表層ZrO2功能涂層的EB-PVD工藝方法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、本文采用物理氣相沉積法在不銹鋼基體上制備了氧化釔部分穩(wěn)定氧化鋯陶瓷涂層。利用X射線衍射儀、X射線光電子能譜儀(XPS)對(duì)涂層的相結(jié)構(gòu)及涂層的化學(xué)成分進(jìn)行了分析和討論；利用掃描電子顯微鏡(SEM)和原子力顯微鏡(AFM)分別觀察了涂層的表面形貌；詳細(xì)討論和分析基于掠入射X射線分析(GIXA)技術(shù)分析涂層的殘余應(yīng)力的測(cè)量方法；基于涂層殘余應(yīng)力計(jì)算的理論模型對(duì)涂層熱應(yīng)力進(jìn)行計(jì)算；使用納米壓痕試驗(yàn)測(cè)量和分析了不同厚度涂層的納米硬度和彈性模量；設(shè)

2、計(jì)了涂層的抗熱震試驗(yàn)方案，并表征了涂層的抗熱震性能；使用輻射計(jì)法測(cè)量涂層表面的熱發(fā)射率。
　　XRD研究結(jié)果表明，利用EB-PVD法制備的氧化鋯涂層為四方相氧化鋯，并不同程度存在織構(gòu)現(xiàn)象，隨著基體溫度的升高，涂層中的晶粒尺寸在逐漸長(zhǎng)大。
　　SEM及AFM觀察表明，涂層表面的小顆粒為柱狀晶的上表面，涂層表面的粗糙度隨著靶基距的升高而變小。XPS表面分析表明，涂層表面Zr-O結(jié)合態(tài)為Zr4+，而涂層內(nèi)部存在少量的缺氧現(xiàn)象。

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